[实用新型]一种高分辨率的生物传感器

权利要求书

1.一种高分辨率的生物传感器，其特征在于包括检测被分析分子的电敏感功能单元和控制被分析分子运动的微纳米流体器件；

所述的微纳米流体器件包括第一微纳米分离通道(7)、第二微纳米分离通道(8)、第一储藏室(10)、第二储藏室(11)、第一电泳电极或微泵(12)、第二电泳电极或微泵(13)；所述的第二电泳电极或微泵(13)、第二储藏室(11)、第二微纳米分离通道(8)、第一绝缘层(2)、敏感功能层(3)、第二绝缘层(4)、第一微纳米分离通道(7)、第一储藏室(10)、第一电泳电极或微泵(12)顺次放置；

敏感功能单元集成于微纳米流体器件的第一微纳米分离通道与第二微纳米分离通道之间；

所述的电敏感功能单元包括第一绝缘层(2)、敏感功能层(3)、第二绝缘层(4)，敏感功能层(3)设于第一绝缘层(2)和第二绝缘层(4)之间，敏感功能层设有纳米孔(5)，第一绝缘层设有第一绝缘层开孔(16)，第二绝缘层设有第二绝缘层开孔(17)；

所述的微纳米流体器件包括第一微纳米分离通道(7)、第二微纳米分离通道(8)、第一储藏室(10)、第二储藏室(11)、第一电泳电极或微泵(12)、第二电泳电极或微泵(13)。

2.根据权利要求1所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于：

所述的第二电泳电极或微泵(13)、第二储藏室(11)、第二微纳米分离通道(8)、第一绝缘层(2)、敏感功能层(3)、第二绝缘层(4)、第一微纳米分离通道(7)、第一储藏室(10)、第一电泳电极或微泵(12)顺次放置；

所述的第二微纳米分离通道(8)、第一绝缘层开孔(16)、敏感功能层的纳米孔(5)、第一微纳米分离通道(7)、以及第二绝缘层开孔(17)的中心处于同一中心轴线上。

3.根据权利要求1所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于： 

所述的电敏感功能单元包括第一绝缘层(2)、敏感功能层(3)、第二绝缘层(4)，敏感功能层(3)设于第一绝缘层(2)和第二绝缘层(4)之间；

所述的微纳米流体器件包括第一微纳米分离通道(7)、第二微纳米分离通道(8)、第一储藏室(10)、第二储藏室(11)、第一电泳电极(12)和第二电泳电极(13)；

所述生物传感器包括基板(1)，基板(1)的中心设有基板开口(15)；

第二电泳电极或微泵(13)、第二储藏室(11)、第二微纳米分离通道(8)、基板(1)、第一绝缘层(2)、敏感功能层(3)、第二绝缘层(4)、第一微纳米分离通道(7)、第一储藏室(10)、第一电泳电极或微泵(12)顺次放置；

第二绝缘层(4)的中心设有第二绝缘层开孔(17)，敏感功能层(3)的中心设有纳米孔(5)，第一绝缘层(2)的中心设有第一绝缘层开孔(16)；

第二微纳米分离通道(8)、基板开口(15)、第一绝缘层开孔(16)、敏感功能层的纳米孔(5)、第一微纳米分离通道(7)、以及第二绝缘层开孔(17)的中心处于同一中心轴线上。

4.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所述的敏感功能层(3)设有与其相连接的电接触层(9)。

5.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所述的敏感功能层(3)的材料为层状导电材料，所述的敏感功能层的厚度为0.2～30nm。

6.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所述的敏感功能层(3)的材料为层状导电材料，所述的敏感功能层的厚度为0.2～10nm。

7.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所述的敏感功能层(3)的材料为层状导电材料，所述的敏感功能层的厚度为0.2～1nm。

8.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所 述的敏感功能层(3)的材料为石墨烯薄膜，所述的石墨烯薄膜的层数为1-100层。

9.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所述的敏感功能层(3)的材料为石墨烯薄膜，所述的石墨烯薄膜的层数为1～30层。

10.根据权利要求2或3所述的一种高分辨率的生物传感器，其特征在于所述的敏感功能层(3)的材料为石墨烯薄膜，所述的石墨烯薄膜的层数为1～3层。