[实用新型]一种单晶炉热场

权利要求书

1.一种单晶炉热场，它包括炉盖(1)和炉筒(2)，炉筒(2)内设有大盖(3)、热屏(4)、中保温筒(5)、加热器(6)、下保温筒(7)、石英坩埚(8)、三瓣埚(9)，其特征在于：所述的大盖(3)位于炉筒(2)顶部的下方，所述的热屏(4)由内热屏(41)和外热屏(42)组成，内热屏(41)和外热屏(42)之间设置有碳毡层(10)，所述的中保温筒(5)位于下保温筒(7)的上方，中保温筒(5)位于加热器的(6)外周，中保温筒(5)和下保温筒(7)的交接处(71)位于加热器(6)的下方部位，加热器(6)位于三瓣埚(9)的外周，三瓣埚(9)围在石英坩埚(8)的外周。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述的热屏(4)的上口径为394mm～400mm，下口径为227mm～233mm。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述的内热屏(41)和外热屏(42)之间设置的碳毡层有两层。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述的三瓣埚(9)的高度为372mm～378mm，对应地，所述的石英坩埚(8)的高度为347mm～353mm。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场，其特征在于：所述的中保温筒(5)的高度为563mm～569mm，下保温筒(7)的高度为192mm～198mm。