[实用新型]节能用单晶炉保温热场有效
申请号: | 201120270328.7 | 申请日: | 2011-07-28 |
公开(公告)号: | CN202164378U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 葛相麟;周帆;周静 | 申请(专利权)人: | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213200 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 节能 用单晶炉保 温热 | ||
1.一种节能用单晶炉保温热场,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设有由埚杆(4)支撑的坩埚(3),所述的坩埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于坩埚(3)底面的埚托(3-1),其特征在于:所述的加热器(2)的底部还安装有反射板(5),并通过螺栓固定在炉体的底盘上。
2.如权利要求1所述的节能用单晶炉保温热场,其特征在于:所述的加热器(2)的外径与保温筒(1)的内径相配合,所述的坩埚(3)的外径与加热器(2)的内径相配合。
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