[实用新型]一种用于单晶炉的籽晶体提升载体

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉的辅助设备，主要涉及一种用于单晶炉的籽晶体提升载体。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶硅的设备。

单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。

单晶炉内部的籽晶体提升载体在生产中起着很重要的作用。现有的籽晶体提升载体多采用整体式结构，在单晶炉内与籽晶夹头、籽晶绳构成籽晶体的提升机构，如图1所示；籽晶绳5连接在籽晶夹头1的顶部，而籽晶夹头1的底部通过螺纹同轴固定在籽晶体提升载体2顶部轴心的定位孔内，籽晶体提升载体2底部轴心孔与籽晶体4连接，籽晶体提升载体2与籽晶体4之间由侧边的定位销3定位固定；工作时通过籽晶绳的提升，籽晶体对多晶硅熔液旋转提拉，形成单晶硅棒体。在生产过程中，籽晶体提升载体需要很高的稳定性及耐高温性质，其耐高温及稳定性直接左右着设备生产单晶硅棒的质量性能。

目前的整体式的籽晶体提升载体，成本较高，而且使用过程中，籽晶体提升载体的籽晶固定端（即籽晶体提升载体的底部）承受的高温温度约达1500℃左右，热损严重，造成其底部过早的损坏，整个籽晶体提升载体的使用寿命大幅度降低。

实用新型内容

为解决以上问题，本实用新型的目的是提出一种用于单晶炉的籽晶体提升载体。 

本实用新型为完成上述发明任务采用如下技术方案：

一种用于单晶炉的籽晶体提升载体，所述籽晶体提升载体为两端具有锥台的圆柱体结构，籽晶体提升载体的上端具有用于与籽晶夹头下端螺纹结合的螺纹孔，籽晶体提升载体的下端具有用于与籽晶体连接的连接孔，并在籽晶体提升载体下端的一侧具有用于定位籽晶体的定位销；所述的籽晶体提升载体由上载体与下载体两部分构成，其中，在由耐高温不锈钢材料制成的上载体的下端具有用以与上载体螺纹结合的螺栓，由钼材料制成的下载体上端面具有与上载体上的螺栓螺纹结合的螺纹孔。

本实用新型提出的一种用于单晶炉的籽晶体提升载体，采用上载体与下载体两部分螺纹配合构成，由于上载体所处的温度环境不是太高，可以用耐高温不锈钢材料代替钼材料，并在下载体因热损需要更换时，可将其旋转拧下更换，而上载体可往复循环使用，既节省了成本，又提高了籽晶体提升载体的使用寿命。

附图说明

图1为现有籽晶体提升机构的示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

图3为图2的右视图。

图中：1、 籽晶夹头， 2、籽晶体提升载体 ，3、 定位销 ，4、籽晶体， 5、籽晶绳，6、上载体，7、下载体。

具体实施方式

结合附图和具体实施例对本实用新型加以说明。

如图2、图3所示，并结合图1，一种用于单晶炉的籽晶体提升载体，所述籽晶体提升载体2为两端具有锥台的圆柱体结构，籽晶体提升载体的上端具有用于与籽晶夹头1下端螺纹结合的螺纹孔，籽晶体提升载体的下端具有用于与籽晶体4连接的连接孔，并在籽晶体提升载体下端的一侧具有用于定位籽晶体的定位销3；所述的籽晶体提升载体由上载体6与下载体7两部分构成，其中，在由耐高温不锈钢材料制成的上载体6的下端具有用以与上载体螺纹结合的螺栓，由钼材料制成的下载体7上端面具有与上载体上的螺栓螺纹结合的螺纹孔。