[实用新型]防倒流装置及排气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防倒流装置及排气装置。

背景技术

目前，在半导体生产中很多工艺需要在真空环境下进行，因此，所需的反应腔需要排气装置进行抽气以形成真空。

现有的排气装置通常包括泵和连接管，所述泵通过所述连接管和反应腔连接，所述泵不断抽取来自反应腔的气体，使得反应腔形成真空。

在使用过程中发现，正常工作情况下，所述泵不停地从所述反应腔中抽气并排放，一旦当泵出现故障，泵四周的空气会进入泵内，由于反应腔处于真空状态，因此，反应腔中的气体压力远低于泵中的气体压力，由此，泵中的气体会倒流到反应腔内。但是泵中气体夹带着很多颗粒物质，当带有大量颗粒物质的气体涌入反应腔后，会严重影响反应腔内气体的洁净度，这些被带入的颗粒物质会吸附到待反应的晶圆上，会影响产品质量，严重时就会导致大量产品报废。

由此可见，如何提供一种防止泵内的气体倒流到反应腔的防倒流装置及排气装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防倒流装置及排气装置，可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种防倒流装置，设于泵和反应腔之间的连接管内，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。

在上述的防倒流装置中，每个单向阀包括阀球和阀孔，所述阀孔设置于所述阀座体，所述阀孔是孔径由大至小渐变的通孔，所述阀孔的大开口端设有一镂空挡板，所述阀孔的大开口端和小开口端分别与所述泵和所述反应腔相对，所述阀球位于所述阀孔内，所述阀球的直径小于所述阀孔的小开口端的内径。

在上述的防倒流装置中，所述连接管横向设置，所述阀孔横向设置。

在上述的防倒流装置中，所述连接管竖向设置，所述阀孔竖向设置。

在上述的防倒流装置中，所述镂空挡板是一圆形板，所述圆形板上开有一中心孔和若干通气孔，所述若干通气孔环绕设置于所述中心孔的四周，所述中心孔的直径小于阀球的直径。

在上述的防倒流装置中，所述连接管包括第一连接分管和第二连接分管，所述第一连接分管和第二连接分管的相对端分别设有第一法兰和第二法兰，所述第一连接管和第二连接管的另一端分别与泵或反应腔连接。

在上述的防倒流装置中，所述防倒流装置还包括若干螺栓组件，所述阀座体的周向设有向外凸出的凸部，所述凸部上均匀设置有若干螺钉孔，所述凸部设于所述第一法兰和第二法兰之间，所述阀座体的一部分位于所述第一连接分管内，所述阀座体的另一部分位于所述第二连接分管内，所述第一法兰、所述凸部和第二法兰经所述若干螺栓组件连接。

在上述的防倒流装置中，所述若干单向阀均匀设置于所述阀座体上。

本实用新型还公开了一种排气装置，用于对反应腔进行排气，包括泵和连接管，所述泵通过连接管和反应腔连接，还包括如上所述的防倒流装置，所述防倒流装置设于所述连接管内。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型在连接管上设置防倒流装置，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。一方面，所述若干单向阀可以保证反应腔内的气体流入到泵中；另一方面，所述若干单向阀可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性，最终提高产品良率。

附图说明

本实用新型的防倒流装置及排气装置由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型的排气装置及其防倒流装置的结构示意图；

图2为本实用新型的设有若干单向阀的阀座体的结构示意图；

图3为本实用新型的单个单向阀在气流正常流动时的结构示意图；

图4为本实用新型的单个单向阀在气流异常流动时的结构示意图；

图5为本实用新型的镂空挡板的结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的防倒流装置及排气装置的作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。