[实用新型]一种直拉单晶炉炉底板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种直拉单晶炉炉底板。

背景技术

现有的炉底板由圆形炉底板本体以及由炉底板本体的边沿向垂直方向延伸出的密封部组成，现有设计存在如下问题，由于炉底板上需放置一定重量的器械，将密封部与机械设备卡合后，炉底板本体与机械设备之间接触面偏小，局部压强过大，一方面可能压坏炉底板本体，甚至会对与之接触的机械设备造成损害，使得其使用寿命降低，亟需改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可以提高设备使用寿命的直拉单晶炉炉底板。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种直拉单晶炉炉底板，包括柱状的炉底板本体，所述炉底板本体边沿向垂直方向延伸，形成一圈密封部，所述炉底板本体边沿向水平方向延伸，形成一圈下表面平整的支撑部。

通过如上技术方案的提出，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中的密封部卡入机械设备出口或入口之后，其支撑部与机械设备出口或入口的周边沿接触，起到支撑作用，其作用面积远大于为改进时，使得炉底板与接卸设备在接触面积内的压强偏小，这样就起到了很好的保护炉底板以及机械设备的作用，使得产品的使用寿命增加。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明：

图1为本实用新型实施例1提出的一种直拉单晶炉炉底板示意图；

图中：

1、支撑部；2、密封部；3、炉底板本体。

具体实施方式

实施例1

本实施例提出一种直拉单晶炉炉底板，包括柱状的炉底板本体3，炉底板本体3边沿向垂直方向延伸，形成一圈密封部2，密封部2用于卡入机械设备需要盖住的入口或出口，以防止其挪动，同时，还可以起到密封作用，炉底板本体3边沿向水平方向延伸，形成一圈下表面平整的支撑部1，当密封部2卡入机械设备出口或入口之后，其支撑部1与机械设备出口或入口的周边沿接触，起到支撑作用，其作用面积远大于为改进时，使得炉底板与接卸设备在接触面积内的压强偏小，这样就起到了很好的保护炉底板以及机械设备的作用，使得产品的使用寿命增加。

本实用新型并不局限于此实施方式，以本实用新型思想为基础的相关实现总成均在本实用新型的保护范围内。