[实用新型]多晶热场用顶部保温板有效
申请号: | 201120256479.7 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN202164383U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 曹钺;尹朝辉 | 申请(专利权)人: | 上海晶驰炭素有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 马家骏 |
地址: | 200000 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 热场用 顶部 保温 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种多晶热场设备,特别是涉及一种多晶热场设备内用的顶部保温板。
背景技术
硅是一种半导体元素,太阳能硅电池片就是利用这一特性,在硅表面形成光付特效应,产生电能。为制造太阳能电池片,需要将多晶硅原料重熔后定向凝固,然后切片做成电池片组件。为实现多晶硅的定向长晶凝固过程,需要一个能稳定长晶的多晶热场。
现有的多晶热场主要包括加热器、石英坩埚和保温结构;保温结构主要是保证热场温度能维持起来,其包括顶部保温板,该顶部保温板与石英坩埚距离150mm左右,顶部保温板主要材料采用石墨固化毡,石墨固化毡是一种密度很小、材质疏松的保温材料。在实际使用时,石墨固化毡会掉落碳粉,并且长时间使用后由于高温和重力影响会产生一定的变形量,而掉落的碳粉对于硅锭的碳含量控制极为不利,其本身的变形会导致绝缘产生问题。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提供一种多晶热场用顶部保温板,以解决现有技术中的诸多问题。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:
多晶热场用顶部保温板,包括石墨固化毡板体,其特征在于,在所述石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述碳碳复合材料层的厚度为3mm。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述碳碳复合材料层与石墨固化毡板体贴合连接在一起。
本实用新型通过在石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层的方式,可以有效的避免由于掉粉导致的硅锭的碳含量不方便控制、以及石墨固化毡板体会产生变形的问题。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型:
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为多晶热场用顶部保温板与石英坩埚的位置关系示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
参见图1和2,多晶热场用顶部保温板,包括石墨固化毡板体100,在所述石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层110。碳碳复合材料层110是一种高强度材料,尤其在高温下具有超强的钢性和韧性,并且其结构紧致,不掉落碳粉。在本实施例中,碳碳复合材料层110的厚度为3mm。所述碳碳复合材料层与石墨固化毡板体贴合连接在一起,这种连接方式能有效地减小甚至消除石墨固化毡板体可能产生的变形。该多晶热场用顶部保温板与石英坩埚200的距离在150mm左右。
本实用新型通过在石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层的方式,可以有效的避免由于掉粉导致的硅锭的碳含量不方便控制、以及石墨固化毡板体会产生变形的问题。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
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