[实用新型]一种硅片的放置装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片的放置装置，特别用于硅片的清洗和脱胶。 

背景技术

通常，当硅棒切割成硅片后，需要将整刀的多块硅片从多线切割机上取下来，之后转移到水池进行清洗，然后又再次转移到脱胶池脱胶。这个过程中，从多线切割机取下到搬运至清洗池过程中，容易发生磕碰损伤硅片；在脱胶过程中，容易发生硅片倒伏在一起，导致硅片损伤。 

发明内容

本实用新型的目的是提供防止硅片在搬运和脱胶过程中发生损伤的一种硅片的放置装置。 

本实用新型采取的技术方案是：一种硅片的放置装置，其特征在于它包括两个分开的基架框，每个基架框上连接有与其相垂直的固定板，固定板上设有与其相垂直的挡板，并在挡板上设有凹槽。 

所述的还包括带有若干个插槽的插板，插板可插入凹槽。 

所述的挡板与基架框之间相互平行或位于同一平面； 

采用本实用新型，既可便于硅片从多线切割机取下到搬运至清洗池中，可用于硅片清洗过程中搬运和翻转，又可用于硅片脱胶中防止硅片倒伏，并确保在搬运、清洗翻转和脱胶过程中不会损伤硅片，且工作效果好的一种硅片的放置装置。 

附图说明

图1是本实用新型单个基架框的主视示意图。 

图2是本实用新型单个基架框的侧视示意图。 

图3是本实用新型用于清洗的示意图。 

图4是本实用新型用于脱胶的示意图。 

图中序号表示：基架框1、凹槽2、挡板3、固定板4、固定孔5、粘棒铁板6、硅片7、插板8、插槽9和钢条10 

具体实施方式

下面对本实用新型作进一步说明。 

参照图1、图2、图3和图4，该硅片的放置装置包括两个分开的基架框1，每个基架框1上连接有与其相垂直的固定板4，固定板4上设有与其相垂直的挡板3，并在挡板3上设有凹槽2；挡板3与基架框1之间相互平行或位于同一平面；该硅片的放置装置还包括带有插槽9的插板8，插板8可插入凹槽2中，可在插槽9中放入钢条10。 

当从切割机上取下硅片时，即将两个分开的基架框1倒置并相对而立，把硅片7连同粘棒铁板6通过固定板4上设有的固定孔5固定，即可搬运放入清洗水池中翻转冲洗，直到清洗完毕。 

当需要脱胶时，将两个分开的基架框1翻过来正放相对而立，如图4所示。同样，并把插板8插入凹槽2中，将钢条10放入插板8上的插槽9中架好，即可将硅片连同本实用新型(放置装置)搬运至脱胶池进行脱胶。 

这样，既可用于硅片搬运、清洗，又可用于硅片脱胶，并能确保在搬运、清洗和脱胶过程中不会损伤硅片，且因整齐有序的放置，清洗和脱胶的效果更好。