[实用新型]一种硅料提纯生产用晶体破碎装置有效
| 申请号: | 201120247525.7 | 申请日: | 2011-07-14 |
| 公开(公告)号: | CN202116324U | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
| 发明(设计)人: | 周建华 | 申请(专利权)人: | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
| 代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 谭文琰 |
| 地址: | 710077 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提纯 生产 晶体 破碎 装置 | ||
1.一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:包括水爆池(1)、将处于高温状态的硅棒(2)移至水爆池(1)周侧并倒进水爆池(1)内的水爆车(3)和接至水爆池(1)内的冲洗管道(4),所述冲洗管道(4)与供水装置相接且其上安装有冲洗控制阀(5);所述水爆池(1)为由不锈钢材料制成且上部开口的水池,且所述水池底部设置有漏水口(5),所述漏水口(5)与位于所述水池下方的排水管道(7)相接,所述排水管道(7)上安装有排水阀门(6);所述硅棒(2)为采用单晶炉且按常规直拉法拉制成型的圆柱形硅棒;所述水爆车(3)包括用于盛装硅棒(2)的接晶体筒(3-1)、水平安装在接晶体筒(3-1)底部的行走机构和对晶体筒(3-1)进行提拉的提拉机构,所述接晶体筒(3-1)为上部开口且内部仅能容纳一根硅棒(2)的圆柱筒,所述圆柱筒由不锈钢材料加工而成且其内径不小于所盛装硅棒(2)的外径,所述圆柱筒呈竖直向布设且其内腔高度不低于硅棒(2)的长度。
2.按照权利要求1所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述水爆池(1)与对硅棒(2)进行拉制成型的所述单晶炉之间设置有供水爆车(3)来回移动的移动通道,且水爆池(1)与所述单晶炉之间的距离不大于50m。
3.按照权利要求1或2所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述接晶体筒(3-1)的中心轴线与其内部所盛装硅棒(2)的中心轴线呈平行布设;且所述圆柱筒的内径不大于2D,其中D为硅棒(2)的直径。
4.按照权利要求1或2所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:还包括固定在接晶体筒(3-1)外侧壁上且供人手推动的推动扶手(3-7)。
5.按照权利要求1或2所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:还包括将硅棒(2)倒进水爆池(1)过程中将接晶体筒(3-1)卡装在水爆池(1)的侧壁上边沿上的阻挡件,所述阻挡件固定在接晶体筒(3-1)上部的外侧壁上。
6.按照权利要求5所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述阻挡件位于接晶体筒(3-1)前侧,且所述提拉机构位于晶体筒(3-1)后侧。
7.按照权利要求5所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述水爆池(1)的侧壁上边沿上设置有卡装台(3-6),所述阻挡件包括固定在接晶体筒(3-1)上部外侧壁上的卡装座(3-4)和固定在卡装座(3-4)上的斜向挡板(3-5),所述卡装座(3-4)和斜向挡板(3-5)之间形成一个与卡装台(3-6)相配合使用的卡装槽,所述卡装台(3-6)的结构与所述卡装槽的结构一致。
8.按照权利要求6所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述行走机构包括固定安装在接晶体筒(3-1)底部的轮轴(3-2)和两个分别安装在轮轴(3-2)左右两端的行走轮(3-3),所述提拉机构为提拉杆(3-3);所述提拉杆(3-3)底部设置有呈水平向布设的轴套,且提拉杆(3-3)通过所述轴套安装在轮轴(3-2)上,所述提拉杆(3-3)能绕轮轴(3-2)进行来回摆动。
9.按照权利要求5所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述阻挡件的高度与水爆池(1)的侧壁上边沿相平齐。
10.按照权利要求4所述的一种硅料提纯生产用晶体破碎装置,其特征在于:所述推动扶手(3-7)的数量为两个且两个推动扶手(3-7)分别布设在接晶体筒(3-1)的左右两侧上部。
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