[实用新型]直拉硅单晶检测用测量道的制作装置

权利要求书

1.一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：包括水平固定在工作平台(6)上且用于固定被检测硅单晶(1)的U形槽(2)和与U形槽(2)相配合使用且在被检测硅单晶(1)的晶体表面打磨测量道的打磨工具，所述被检测硅单晶(1)为采用直拉法生产的单晶硅棒材，所述U形槽(2)的内部结构和尺寸均与所述单晶硅棒材的结构和尺寸一致；所述打磨工具包括传动轴(3-1)、固定安装在传动轴(3-1)前端部的角磨片(3-2)、固定安装在传动轴(3-1)后部的手持式把手(3-3)、安装在手持式把手(3-3)内且带动传动轴(3-1)进行连续转动的电动驱动机构和与所述电动驱动机构相接的供电电源(3-4)，所述传动轴(3-1)与所述电动驱动机构之间通过传动机构进行传动连接，所述角磨片(3-2)为在传动轴(3-1)带动下在被检测硅单晶(1)的晶体表面打磨所述测量道的磨头。

2.按照权利要求1所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述磨头为锥形磨头，且所述锥形磨头的尺寸与所述测量道的宽度一致。

3.按照权利要求1或2所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述传动轴(3-1)中部外侧套装有外护套(4)，所述外护套(4)紧固固定在手持式把手(3-3)上。

4.按照权利要求3所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述外护套(4)通过多个紧固螺栓(5)固定在手持式把手(3-3)上。

5.按照权利要求1或2所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述U形槽(2)由两个对称布设在所述工作平台(6)上的斜向护板组成，且两个所述斜向护板中部之间的间距小于所述单晶硅棒材的直径。

6.按照权利要求1或2所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述U形槽(2)的前后端部分别设置有对被检测硅单晶(1)进行卡装固定以防止被检测硅单晶(1)发生前后移动的卡装件。

7.按照权利要求1或2所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述U形槽(2)的长度与被检测硅单晶(1)的长度相同。

8.按照权利要求1或2所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：所述电动驱动机构为与供电电源(3-4)相接的电动机(3-5)，所述传动轴(3-1)通过传动机构与电动机(3-5)的动力输出轴同轴连接。

9.按照权利要求1或2所述的直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：两个所述斜向护板中部之间的间距L＞D/2，其中D为所述单晶硅棒材的直径。