[实用新型]电子级超纯水系统

权利要求书

1.一种电子级超纯水系统，包括软化器(1)、精密过滤器(2)、反渗透装置(3)、抛光混床(4)和成品水箱(5)，其特征在于：所述软化器(1)的进水口通过Y形过滤器(6)与市政自来水管道连接，软化器(1)的出水口分别通过管路连接排放口(7)、溶盐箱(8)和精密过滤器(2)，精密过滤器(2)的出水口通过管路连接超滤装置(9)，超滤装置(9)的出水口通过管路和水泵与所述反渗透装置(3)连接，反渗透装置(3)的出水口通过管路连接若干定压罐(10)，定压罐(10)通过管路连接EDI水处理装置(11)，EDI水处理装置(11)通过管路与所述抛光混床(4)连接，抛光混床(4)通过管路连接微孔过滤器(12)，微孔过滤器(12)通过管路与所述成品水箱(5)连接，成品水箱(5)的出水口通过水泵连接用水管道。

2.根据权利要求1所述的电子级超纯水系统，其特征在于：所述反渗透装置(3)的底部通过管路连接第一压力表(13)，第一压力表(13)通过管路分别连接第一电磁阀(14)和第一球阀(15)，第一电磁阀(14)通过管路连接第二球阀(16)，第一球阀(15)通过管路连接第一转子流量计(17)，第一转子流量计(17)和第二球阀(16)分别通过管路汇合后连接第一排放管道(18)。

3.根据权利要求1或2所述的电子级超纯水系统，其特征在于：所述EDI水处理装置(11)的出水管路上分别设有电阻率传感器(19)、第二转子流量计(20)、第二压力表(27)、第三球阀(21)和第二电磁阀(22)，第二电磁阀(22)的进水管路上通过管路还连接第三电磁阀(23)，第三电磁阀(23)连接第二排放管道(24)。

4.根据权利要求3所述的电子级超纯水系统，其特征在于：所述成品水箱(5)的内部设有加热器(25)，成品水箱(5)的底部靠近左端处通过管道连接第四球阀(26)。