[实用新型]单晶炉称重装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种称重装置，特别是一种用于单晶炉内的称重装置。

背景技术

近年来，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。

在单晶硅棒的制作过程中，需要将单晶硅按照一定的直径尺寸将单晶硅拉长生长。在将单晶硅拉长生长的最后阶段需要对单晶硅棒进行收尾，单晶硅棒的收尾工作是一个需要精确控制的过程，需要知道单晶炉内剩余硅料的重量，这就需要对已经生长成的单晶硅棒进行称重，这样才能对单晶硅收尾工作精确控制。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种时时监控单晶炉内剩余硅料单晶炉称重装置。

为解决上述的技术问题，本实用新型的单晶炉称重装置包括称和支架，所述支架固定在密闭腔体内，所述称固定在支架上；所述称上设置有称重传感器，所述称重传感器与设在密闭腔体上的数据传输装置相连接；所述称下方连接有单晶硅提拉装置。

所述数据传输装置为航空插头。

采用上述结构后，称通过单晶硅提拉装置可以测量出已经生长好的单晶硅棒的重量，然后称重传感器将测量到的重量数据通过数据传输装置传输给控制系统，这样控制系统计算出剩余硅料的重量后就可以精确控制单晶硅棒的收尾工作。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型单晶炉称重装置的结构示意图。

图中：1为腔体，2为支架，3为称，4为称重传感器，5为航空插头，6为滑轮，7为线轮

具体实施方式

如图1所示的单晶炉称重装置，包括称3和支架2，所述支架2固定在密闭腔体1内，单晶硅棒的生长容易受温度，压力等环境因素的影响，所以需要真空密闭的环境。所述称3固定在支架2上，所述称3上设置有称重传感器4，所述称重传感器4与设在密闭腔体1上的数据传输装置相连接。称重传感器4通过称3来获得单晶硅棒的重量值。

所述称3下方连接有单晶硅提拉装置，所述单晶硅提拉装置包括滑轮6和线轮7，称3与滑轮6相来连接，通过滑轮6的转动将提拉用的线绕在线轮7上，这样就可以不断的将单晶硅棒提拉上来。

所述数据传输装置为航空插头5，航空插头5更加的坚固耐用。

单晶硅棒制作是按照一定的直径拉长，将硅晶拉长成棒状，但是到末端的时候不能一下将单晶硅棒断开，要慢慢的收尾。单晶硅棒的收尾也需要精确的控制，需要知道何时开始对单晶硅棒进行收尾，这就要求知道已经制成的单晶硅棒有多重，单晶炉内还剩下多少的原料。称重传感器4通过称3测量出单晶硅棒的值，并将此重量值传给中央控制系统，中央控制系统将中央值与加入的原料重量相对比就可以知道单晶炉内剩下原料的重量。当剩下原料的重量达到设定的收尾重量值时，就控制系统对单晶硅棒进行收尾。

当然，所述的数据传输装置可以采用其他适用的装置，这样的变换均落在本实用新型保护的范围之内。