[实用新型]硅晶体的提纯设备无效
申请号: | 201120239982.1 | 申请日: | 2011-07-08 |
公开(公告)号: | CN202116323U | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 陈评;罗建平;陈树钦 | 申请(专利权)人: | 陈评;罗建平;陈树钦 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 曹翠珍 |
地址: | 211100 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体 提纯 设备 | ||
【权利要求书】:
1.硅晶体的提纯设备,包括:炉桶,炉桶的内壁设置保温材料,保温材料内侧设有加热器,炉桶顶部设置炉盖,其特征在于炉桶的底部设置旋转托盘,旋转托盘的上部安放坩埚,坩埚内底部设有搅拌桨叶,搅拌桨叶随坩埚转动;坩埚内设置冷阱。
2.根据权利要求1所述硅晶体的提纯设备,其特征在于所述冷阱是通过在坩埚内中上部插入冷却管形成。
3.根据权利要求2所述硅晶体的提纯设备,其特征在于所述冷却管设置在冷却套筒内。
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