[实用新型]一种溅射薄膜式压力传感器有效
| 申请号： | 201120239443.8 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN202133499U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘军 | 申请（专利权）人： | 青岛智腾微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266071 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 薄膜 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射薄膜式压力传感器，其特征是包括：插座(1)、外壳(2)、螺母(3)、电路组件(4)、螺钉(5)、压力敏感组件(6)、保护罩(7)；所述压力敏感组件由基座(8)、支撑套(9)、压力敏感膜片(10)、出线板(11)和压冒(12)组成；所述电路组件(4)由LH18混合集成电路、电阻、电容组成，LH18混合集成电路内部由基准电压源、仪表放大器及输出限幅电路组成，其中基准电压源由运算放大器A1、三极管N1组成的恒流源给稳压二极管D1供给稳定的工作电流，使稳压二极管输出稳定的正向基准电压；运算放大器A2、三极管P1及几只电阻组成反向的基准电压，输出限幅电路输出级并联一只6.2V稳压管和一只二极管。
2.根据权利要求1所述一种溅射薄膜式压力传感器，其特征是所述压力敏感膜片(10)通过电子束焊接与基座(8)连接。
3.根据权利要求1所述一种溅射薄膜式压力传感器，其特征是所述压力敏感膜片(10)通过硅铝丝焊接与出线板(11)连接。
4.根据权利要求1所述一种溅射薄膜式压力传感器，其特征是所述基座(8)和压力敏感膜片(10)采用不锈钢材料。
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