[实用新型]多晶硅还原炉钟罩与底盘有效

专利信息
申请号: 201120236278.0 申请日: 2011-07-06
公开(公告)号: CN202131104U 公开(公告)日: 2012-02-01
发明(设计)人: 宋瑜;那日萨;李东曦 申请(专利权)人: 上海森松化工成套装备有限公司
主分类号: C01B33/03 分类号: C01B33/03
代理公司: 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 代理人: 马育麟
地址: 201315 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 多晶 还原 炉钟罩 底盘
【权利要求书】:

1.多晶硅还原炉钟罩与底盘,包括钟罩、底盘,其特征在于:所述钟罩包括内壁与外壁,所述底盘包括上表面与下表面。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述钟罩与底盘采用碳钢-不锈钢复合板材料制造。

3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述钟罩外壁采用复合板的碳钢层作为基层材料,所述钟罩内壁采用复合板的不锈钢层材料;所述底盘下表面采用复合板的碳钢层作为基层材料,所述底盘上表面采用复合板的不锈钢材料。

4.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述钟罩的外壁外侧设有冷却水夹套,所述底盘的下表面外侧设有水冷结构。

5.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述水冷结构包含冷却水进口B与冷却水出口B。

6.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述冷却水夹套上设有冷却水进口A与冷却水出口A。

7.根据权利要求6所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述冷却水进水口A位于钟罩的下部,所述冷却水出口A位于钟罩的顶部。

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