[实用新型]多晶硅还原炉钟罩与底盘有效
| 申请号: | 201120236278.0 | 申请日: | 2011-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN202131104U | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
| 发明(设计)人: | 宋瑜;那日萨;李东曦 | 申请(专利权)人: | 上海森松化工成套装备有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
| 代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 马育麟 |
| 地址: | 201315 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 还原 炉钟罩 底盘 | ||
1.多晶硅还原炉钟罩与底盘,包括钟罩、底盘,其特征在于:所述钟罩包括内壁与外壁,所述底盘包括上表面与下表面。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述钟罩与底盘采用碳钢-不锈钢复合板材料制造。
3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述钟罩外壁采用复合板的碳钢层作为基层材料,所述钟罩内壁采用复合板的不锈钢层材料;所述底盘下表面采用复合板的碳钢层作为基层材料,所述底盘上表面采用复合板的不锈钢材料。
4.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述钟罩的外壁外侧设有冷却水夹套,所述底盘的下表面外侧设有水冷结构。
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述水冷结构包含冷却水进口B与冷却水出口B。
6.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述冷却水夹套上设有冷却水进口A与冷却水出口A。
7.根据权利要求6所述的多晶硅还原炉钟罩与底盘,其特征在于:所述冷却水进水口A位于钟罩的下部,所述冷却水出口A位于钟罩的顶部。
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