[实用新型]研磨垫有效
| 申请号： | 201120233351.9 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN202200167U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 朱普磊;蒋莉;黎铭琦 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于化学机械研磨的研磨垫，包括带有光学终点检测窗口的研磨垫基材、研磨垫基材背面的粘贴层以及粘贴层上的背纸，其特征在于：所述背纸包括第一部分背纸和第二部分背纸。
2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于：所述第一部分背纸小于第二部分背纸。
3.根据权利要求2所述的研磨垫，其特征在于：所述的第一部分背纸和第二部分背纸相接处重叠；重叠处，第一部分背纸贴近粘贴层，第二部分背纸远离粘贴层。
4.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于：所述研磨垫为光学终点检测窗口为圆形孔的软研磨垫。
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