[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的直流供电电源

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅铸锭炉设备技术领域，涉及一种用于多晶硅铸锭炉的直流供电电源。

背景技术

本领域现有的多晶硅铸锭炉一般采用交流供电电源。这种交流电源采用三对双向晶闸管进行三相交流调压将380V电网电压变为0-380V可调的电压，再在后面接一个交流变压器将电压变为0-25V可调的交流电给多晶硅铸锭炉的石墨加热器进行加热，这种方式的多晶硅铸锭炉电源有以下缺点：其一是其通过调节晶闸管的导通角来实现调压，因此就存在着功率因数低、谐波含量高、对电网冲击大等的缺点，其二是多晶铸锭铸锭用交流电加热，交流电在石墨加热器内产生磁场会对多晶硅料起到到搅拌的作用，这样就不断地打断晶粒的长大，不易形成大的晶粒从而影响多晶硅的质量，其三是采用三相交流供电方式的多晶硅铸锭炉的石墨加热器需要考虑负载三相平衡等因素，因此对石墨加热器的结构性能要求比较高。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题是提供一种功率因数高、产出晶锭质量好、效率高、稳定性好、可靠性高、使用方便的用于多晶硅铸锭炉的直流供电电源。

为解决上述的技术问题，本实用新型采取的技术方案：

一种用于多晶硅铸锭炉的直流供电电源，包括三相进线、断路器、熔断器，三相进线经断路器与熔断器连接，熔断器后端依次与三相二极管整流桥、直流斩波调压电路、高频逆变电路、高频变压器、整流滤波电路连接，整流滤波电路的输出端与设置在多晶硅铸锭炉内的石墨加热器连接。

上述的高频逆变电路采用IGBT功率器件高频逆变电路。

上述的整流滤波电路采用二极管整流滤波电路。

与现有技术相比，本实用新型采用不控整流，提高了电网侧功率因数，并通过IGBT功率器件高频逆变电路和高频变压器隔离降压，再通过快速二极管整流滤波电路提高了功率因数和传输效率并降低了输出纹波；并且采用直流供电式对石墨加热器的工艺要求比较低，并能产生更好的热场更有利于多晶硅的铸锭。

附图说明

图1为本实用新型的电路图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

参见图1，本实用新型包括三相进线1、断路器2、熔断器3，三相进线1经断路器2与熔断器3连接，其特征在于：熔断器3后端依次与三相二极管整流桥4、直流斩波调压电路5、高频逆变电路6、高频变压器7、整流滤波电路8连接，整流滤波电路8的输出端与多晶硅铸锭炉的石墨加热器连接。

上述的高频逆变电路6采用IGBT功率器件高频逆变电路。

上述的整流滤波电路8采用二极管整流滤波电路。

本实用新型的供电方式采用三相全桥二极管整流，后面再接一个直流斩波调压电路5，通过直流斩波调压电路5来调节输出电压从而调节供给多晶硅铸锭炉的功率，本电源采用二极管整流则电网侧的功率因数始终为1，不污染电网，这样就避免了采用交流供电还需要加谐波治理装置，节约了成本，并通过IGBT功率器件高频逆变电路和高频变压器隔离降压，再通过快速二极管整流、滤波提高了功率因数和传输效率并降低了输出纹波，多晶硅铸锭炉采用直流电源可以降低对石墨加热器工艺的要求，并对产生的热场进行有效地改善，从而提高多晶硅晶锭的质量。