[实用新型]一种OLED光罩存储装置有效
申请号: | 201120225663.5 | 申请日: | 2011-06-29 |
公开(公告)号: | CN202275810U | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 郭晓钰 | 申请(专利权)人: | 彩虹(佛山)平板显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 杨晔 |
地址: | 528000 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 存储 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及存储装置,特别涉及一种OLED光罩存储装置。
背景技术
在OLED生产过程中,黄光区的制造是生产过程中最为关键的环节之一,在这个制程中需对氧化铟锡电极、金属导线、绝缘层和隔离柱进行四道膜的加工,在每道膜的加工中曝光加工都是核心,曝光光罩的洁净度保证是保证曝光良率的最重要环节,光罩上有任何灰尘,都会在每一个产品上造成不良,所以光罩的存储至关重要,存储装置必须保证光罩的洁净。另外,光罩上金属线宽为μ级,若有静电会造成金属线的击穿,存储装置对静电的防护很重要。
目前业界OLED光罩存储设备的洁净度一般能做到100级,洁净度的保证性较差,光罩受污染的概率较高,另外因材料和结构的不合理,光罩上有时会带有大于0.3KV的静电,偶有静电击穿金属线的事故发生。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种OLED光罩存储装置,能够保证洁净度达到到10级,静电≤±00.3KV的光罩存储装置。
为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:
一种OLED光罩存储装置,包括框架1,框架1的上部分配置有风机滤网装置3,风机滤网装置3的底部设置有黄光灯4,框架1的中间位置配置有相互对称的导轮组2。
所述的框架1还设置有卷帘门5,卷帘门5关闭后,框架1与卷帘门5构成了封闭状态。
所述的导轮组2包括有至少二个导轮8,所述的导轮8通过轴7固定于框架1上。
所述的导轮组2中设置有光罩6。
由于框架1与卷帘门5可构成了封闭状态,而且导轮组2中设置了光罩6,提高了光罩存储装置洁净度,同时降低了降电电压,使光罩的污染率下降了10倍,
同时保证不会有静电击穿金属线的事故发生。
附图说明
图1是本实用新型的主视图。
图2是本实用新型的左视图。
图3是本实用新型的导轮组的放大图
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构原理,工作原理作更详细的说明。
参照图1,图2和图3,一种OLED光罩存储装置,包括框架1,框架1的上部分配置有风机滤网装置3,风机滤网装置3的底部设置有黄光灯4,框架1的中间位置配置有相互对称的导轮组2。
所述的框架1还设置有卷帘门5,卷帘门5关闭后,框架1与卷帘门5构成了封闭状态。
所述的导轮组2包括有至少二个导轮8,所述的导轮8通过轴承7固定于框架1上。
所述的导轮组2中设置有光罩6。
光罩6插入和取出时和导轮8之间是滚动磨擦。
处于工作状态时风机滤网装置3常开,并且打开卷帘门5,光罩6延导轮组2上下插入,插到位后,卷帘门5关闭,进行存放;将光罩6取出作业时,卷帘门5打开,光罩6延导轮组2上下取出,完全取出后,卷帘门5关闭,卷帘门5关闭后,框架1与卷帘门5构成了封闭状态。
本实用新型一次能同时存储的光罩可以达到40枚。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造