[实用新型]一种OLED光罩存储装置有效

专利信息
申请号: 201120225663.5 申请日: 2011-06-29
公开(公告)号: CN202275810U 公开(公告)日: 2012-06-13
发明(设计)人: 郭晓钰 申请(专利权)人: 彩虹(佛山)平板显示有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 杨晔
地址: 528000 广东省佛*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 oled 存储 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及存储装置,特别涉及一种OLED光罩存储装置。

背景技术

在OLED生产过程中,黄光区的制造是生产过程中最为关键的环节之一,在这个制程中需对氧化铟锡电极、金属导线、绝缘层和隔离柱进行四道膜的加工,在每道膜的加工中曝光加工都是核心,曝光光罩的洁净度保证是保证曝光良率的最重要环节,光罩上有任何灰尘,都会在每一个产品上造成不良,所以光罩的存储至关重要,存储装置必须保证光罩的洁净。另外,光罩上金属线宽为μ级,若有静电会造成金属线的击穿,存储装置对静电的防护很重要。

目前业界OLED光罩存储设备的洁净度一般能做到100级,洁净度的保证性较差,光罩受污染的概率较高,另外因材料和结构的不合理,光罩上有时会带有大于0.3KV的静电,偶有静电击穿金属线的事故发生。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种OLED光罩存储装置,能够保证洁净度达到到10级,静电≤±00.3KV的光罩存储装置。

为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种OLED光罩存储装置,包括框架1,框架1的上部分配置有风机滤网装置3,风机滤网装置3的底部设置有黄光灯4,框架1的中间位置配置有相互对称的导轮组2。

所述的框架1还设置有卷帘门5,卷帘门5关闭后,框架1与卷帘门5构成了封闭状态。

所述的导轮组2包括有至少二个导轮8,所述的导轮8通过轴7固定于框架1上。

所述的导轮组2中设置有光罩6。

由于框架1与卷帘门5可构成了封闭状态,而且导轮组2中设置了光罩6,提高了光罩存储装置洁净度,同时降低了降电电压,使光罩的污染率下降了10倍,

同时保证不会有静电击穿金属线的事故发生。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的左视图。

图3是本实用新型的导轮组的放大图

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的结构原理,工作原理作更详细的说明。

参照图1,图2和图3,一种OLED光罩存储装置,包括框架1,框架1的上部分配置有风机滤网装置3,风机滤网装置3的底部设置有黄光灯4,框架1的中间位置配置有相互对称的导轮组2。

所述的框架1还设置有卷帘门5,卷帘门5关闭后,框架1与卷帘门5构成了封闭状态。

所述的导轮组2包括有至少二个导轮8,所述的导轮8通过轴承7固定于框架1上。

所述的导轮组2中设置有光罩6。

光罩6插入和取出时和导轮8之间是滚动磨擦。

处于工作状态时风机滤网装置3常开,并且打开卷帘门5,光罩6延导轮组2上下插入,插到位后,卷帘门5关闭,进行存放;将光罩6取出作业时,卷帘门5打开,光罩6延导轮组2上下取出,完全取出后,卷帘门5关闭,卷帘门5关闭后,框架1与卷帘门5构成了封闭状态。

本实用新型一次能同时存储的光罩可以达到40枚。

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