[实用新型]电子化学品过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及过滤装置，尤其涉及一种电子化学品的过滤装置。

背景技术

众所周知, LCD用于集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性等都有着十分重要的影响。随着大规模集成电路加工工艺的发展，对电子化学品中的微粒数提出更严格的要求，而目前的技术如申请号200810230102.7《多种化学品药液分离、重复使用装置》、200420059892.4号《电子化学品颗粒控制过滤器》、200610013875.0号《一种提高电子化学品洁净度的方法》都有其特点，能在一定程度上提高化学品纯度，但还不能够满足对电子化学品纯度的需求。

发明内容

本实用新型的目的在于提出一种电子化学品的过滤装置，用来去除电子化学品中的微粒，提高电子化学品的纯度和洁净度，以克服现有技术的不足，满足微电子工业的高速发展的需要。

本实用新型的电子化学品过滤装置主体为一个圆柱形的壳体，其上部装有顶盖，上部的侧面设有物料出口，其底部设有物料进口，壳体内靠近底部装有物料分布盘，在物料分布盘上布有滤芯插入孔并装有滤芯。

上述物料出口所连接的管子上设有一由阀门单独控制的反洗液吸入口，物料进口所连接的管子上设有一由阀门单独控制的导淋口；关闭物料的进出口，从反洗吸入口吸入清洗液对滤芯进行清洗后从导淋口排出，通过导淋口可排空过滤器内的物料，在更换滤芯时更安全。

上述壳体下部的侧面安装有一压力表，通过压力表可判断滤芯的清洗或更换。 

上述滤芯的数量为1～60 个。

上述过滤装置可串联使用，串联的个数为2～ 6个；串联的同一过滤装置中滤芯的孔径相同，不同过滤装置中滤芯的孔径不相同；滤芯的孔径按照物料的进口到出口顺序逐渐减少。

  本实用新型的使用方法：电子化学品由物料进口进入过滤装置，经滤芯过滤，由物料出口排出。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：采用本实用新型的过滤装置可提高电子化学品的纯度和洁净度；滤芯的使用周期更长；更换滤芯更方便、更安全；可根据电子化学品生产的要求，对滤芯选用不同材质，避免对产品产生二次污染。

附图说明

 图1为电子化学品过滤装置的结构图。

图中，1为顶盖，2为反洗液吸入口，3为物料出口，4为滤芯，5为压力表，6为物料分布盘，7为物料进口，8为导淋口，9为壳体。

具体实施方式

实施例1：

如附图的电子化学品过滤装置主体为一个圆柱形的壳体9，其上部装有顶盖，上部的侧面设有物料出口3，其底部设有物料进口7，其内靠近底部有物料分布盘6，在物料分布盘6上布有滤芯插入孔并装有滤芯4；滤芯4的数量为5个；物料出口3所连接的管子上设有一由阀门单独控制的反洗液吸入口2，物料进口7所连接的管子上设有一由阀门单独控制的导淋口8；壳体9下部的侧面安装有一压力表5。 

 实施例2：

将2个如附图的过滤装置串联；串联的第一个过滤装置中滤芯4为18个，第二个过滤装置中滤芯4为10个，第一个过滤装置中的滤芯4孔径为5μm，第二个过滤装置中的滤芯4孔径为2μm。

  实施例3：

将2个如附图的过滤装置串联；串联的第一个过滤装置中滤芯4为28个，第二个过滤装置中滤芯4为20个，第一个过滤装置中的滤芯4孔径为2μm，第二个过滤装置中的滤芯4孔径为1μm。