[实用新型]离子源有效
| 申请号: | 201120221033.0 | 申请日: | 2011-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN202094080U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
| 发明(设计)人: | 马军;刘立秋;颜毅坚;徐翔;张伟;张亦扬 | 申请(专利权)人: | 武汉矽感科技有限公司 |
| 主分类号: | H01J49/12 | 分类号: | H01J49/12;H01J49/06 |
| 代理公司: | 深圳市中原力和专利商标事务所(普通合伙) 44289 | 代理人: | 曹抚全;王英鸿 |
| 地址: | 430000 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 离子源 | ||
1. 一种离子源,其特征在于,包括电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极,放电体的高压端连接电源,低压端通过限流电阻R1接地,离子引出电极的一端通过分压电阻R3连接所述放电体的高压端,另一端通过分压电阻R2接地。
2. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述离子引出电极为金属环、金属筒或者金属网。
3. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述放电体和离子引出电极之间的电压为引出电压,该引出电压 ,其中,为所述电源的电压,为所述放电体电阻。
4. 根据权利要求1至3任意一项所述离子源,其特征在于,所述电阻R1的取值范围为500KΩ至30MΩ。
5. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述放电体包括正负放电电极。
6. 根据权利要求5所述的离子源,其特征在于,所述正负放电电极为两个位置相对的针状放电电极。
7. 根据权利要求6所述的离子源,其特征在于,所述放电体还包括:正负电极体和用于安全防护的腔状绝缘体,所述针状放电电极设置在正负电极体上,且伸入到绝缘体内,绝缘体上开设有放电气体入孔。
8. 根据权利要求7所述的离子源,其特征在于,所述放电气体入孔为圆状或者缝状。
9. 根据权利要求6所述的离子源,其特征在于,所述正负电极体上的针状放电电极,两电极之间的间距为1mm至10mm。
10. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述电源为高压电源,其电压范围为3KV至30KV。
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