[实用新型]离子源有效

专利信息
申请号: 201120221033.0 申请日: 2011-06-27
公开(公告)号: CN202094080U 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 马军;刘立秋;颜毅坚;徐翔;张伟;张亦扬 申请(专利权)人: 武汉矽感科技有限公司
主分类号: H01J49/12 分类号: H01J49/12;H01J49/06
代理公司: 深圳市中原力和专利商标事务所(普通合伙) 44289 代理人: 曹抚全;王英鸿
地址: 430000 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 离子源
【权利要求书】:

1. 一种离子源,其特征在于,包括电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极,放电体的高压端连接电源,低压端通过限流电阻R1接地,离子引出电极的一端通过分压电阻R3连接所述放电体的高压端,另一端通过分压电阻R2接地。

2. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述离子引出电极为金属环、金属筒或者金属网。

3. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述放电体和离子引出电极之间的电压为引出电压,该引出电压                                               ,其中,为所述电源的电压,为所述放电体电阻。

4. 根据权利要求1至3任意一项所述离子源,其特征在于,所述电阻R1的取值范围为500KΩ至30MΩ。

5. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述放电体包括正负放电电极。

6. 根据权利要求5所述的离子源,其特征在于,所述正负放电电极为两个位置相对的针状放电电极。

7. 根据权利要求6所述的离子源,其特征在于,所述放电体还包括:正负电极体和用于安全防护的腔状绝缘体,所述针状放电电极设置在正负电极体上,且伸入到绝缘体内,绝缘体上开设有放电气体入孔。

8. 根据权利要求7所述的离子源,其特征在于,所述放电气体入孔为圆状或者缝状。

9. 根据权利要求6所述的离子源,其特征在于,所述正负电极体上的针状放电电极,两电极之间的间距为1mm至10mm。

10. 根据权利要求1所述的离子源,其特征在于,所述电源为高压电源,其电压范围为3KV至30KV。

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