[实用新型]硅粉干燥集成系统

权利要求书

1.一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐（1）、布置在硅粉干燥罐上的电加热器（2），其特征在于：还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器（3）和设置在所述硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，所述氮气分布器（3）具有伸出至所述硅粉干燥罐外部的氮气进口端（4），所述氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔（10），所述硅粉干燥罐上设有废气出口（5），所述废气出口（5）和所述废气抽吸装置通过管道相通，所述废气抽吸装置包括废气抽吸风机（7）。

2.如权利要求1所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于：所述氮气分布器（3）设置在硅粉干燥罐底部。

3.如权利要求2所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于：所述氮气分布器（3）为管状。

4.如权利要求1或2或3所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于：所述废气抽吸装置还包括袋滤器（6）。

5.如权利要求4所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于：所述袋滤器（6）设置在所述废气出口和所述废气抽吸风机之间的管道上。

6.如权利要求5所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于：所述废气出口设置在所述氮气分布器的顶部。