[实用新型]线偏振脉冲光纤激光加工装置

权利要求书

1.一种线偏振脉冲光纤激光加工装置，包括：

线偏振固体激光器，用于产生线偏振脉冲激光；

多个放大级单元，连接在所述线偏振固体激光器的输出端侧，分别包括偏振相关隔离器、泵浦源、偏振相关合束器以及双包层保偏光纤，对由所述线偏振固体激光器输出的线偏振脉冲激光进行放大；以及

依次配置在所述多个放大级单元的最终输出端一侧的偏振相关准直隔离器、偏振分光器和λ/4波片，使得从所述多个放大级单元输出的经放大的激光经过所述偏振相关准直隔离器、偏振分光器和λ/4波片之后照射在被加工件上，而且，由所述被加工物件反射而沿光轴返回的激光经过所述λ/4波片之后，其偏振方向变成与原偏振方向垂直，从而被所述偏振分光器向与光轴垂直的方向反射。

2.根据权利要求1所述的线偏振脉冲光纤激光加工装置，其中，

所述线偏振固体激光器包括依次配置的线偏振固体激光模块、扩束准直镜、聚焦透镜以及耦合输出光纤。

3.根据权利要求2所述的线偏振脉冲光纤激光加工装置，其中，

所述线偏振固体激光器的耦合输出光纤和所述多个放大级单元中的第一级放大单元的偏振相关隔离器的入纤通过拉锥法熔接以实现模场匹配。

4.根据权利要求1所述的线偏振脉冲光纤激光加工装置，其中，

所述多个放大级单元之间采用模场匹配的光纤端面熔接。

5.根据权利要求1所述的线偏振脉冲光纤激光加工装置，其中，

所述多个放大级单元中的前一个放大级单元的偏振相关合束器和后一个放大级单元的偏振相关合束器的泵浦输入端，根据所需要的泵浦总功率增加入纤数量或者提高单臂泵浦功率。