[实用新型]电阻蒸发镀膜机的改进结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电阻蒸发镀膜机。

背景技术

在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量)，并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1～0.2电子伏。蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状，通以电流，加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质，电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源：适用于蒸发温度较高的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜，为沉积高纯单晶膜层。

现有的电阻蒸发镀膜机，包括有工件架底座，工件架底座上前后设有两个工件架轮骨，工件架轮骨之间设有工件架挂件支架，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架间连接有蒸发电极杆。采用上述结构的电阻蒸发镀膜机存在如下不足：容易使工件烤焦，无法挡住污尘或污油气，产品质量差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供电阻蒸发镀膜机的改进结构，可以有效地解决现有镀膜机容易使工件烤焦，无法挡住污尘或污油气，产品质量差的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

电阻蒸发镀膜机的改进结构，包括工件架底座，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架间连接有蒸发电极杆，其特征在于：蒸发电极杆支架上转动连接有上挡板。

优选的，蒸发电极杆支架上连接有挡板主杆，挡板主杆在蒸发电极杆支架上进行自转，挡板主杆上固定连接有挡板支肋骨，挡板支肋骨固定连接上挡板，上挡板通过挡板支肋骨和挡板主杆转动连接在蒸发电极杆支架上。

优选的，挡板主杆上分别设有上支撑杆和下支撑杆，蒸发电极杆支架端部分别设有与上支撑杆和下支撑杆对应的上限位杆和下限位杆，当挡板主杆转动至上支撑杆抵住上限位杆时，上挡板盖于蒸发电极杆支架上方；当挡板主杆转动至下支撑杆抵住下限位杆时，上挡板脱离对蒸发电极杆支架的遮盖。

优选的，蒸发电极杆支架上固定连接有下挡板，下挡板开口朝向上挡板。

本实用新型由于采用了上述技术方案，具有以下有益效果：上档板是活动的，上档板的可以使蒸发源在预熔时所产生的污油气有效的给挡在上档板上，还有所产生的热量也挡在上档板上，预熔期过后到有效蒸发时可打开上档板。下档板是固定的，可以隔离无效的温度，因为使用钨舟镀银或其他金属时他们是往上蒸发的，向下直射的高温就可以有效的被下档板挡住，以免高温而破坏工件架上的有效工件。下档板也起到挡污油气，真空室内会有微量的污尘或污油气，下档板可有效的隔离这些杂质。总体来说上下档板的功效是隔离温度，不让高温而使工件烤焦，还有挡污油气，不使污油气蒸发到工件上破坏工件的效果，提高产品的质量。本实用新型结构简单、制造简便、成本低，实用性强。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型电阻蒸发镀膜机的改进结构中工件架底座(未画出上挡板和下挡板)的结构示意图；

图2为图1中的K向结构示意图。

具体实施方式