[实用新型]一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅还原炉清洗技术，具体地，涉及一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统。

背景技术

一般地，多晶硅还原炉（钟罩）在每完成一次还原结晶工艺后，需要用液体清洗还原炉（钟罩）的内壁。清洗完毕后，必须用洁净热空气（万级、十万级）将还原炉（钟罩）的内壁烘干。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术中至少存在体积大、结构复杂、使用不方便、稳定性差与工作效率低等缺陷。

发明内容

本实用新型的目的在于，针对上述问题，提出一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，以实现体积小、结构简单、使用方便、稳定性好与工作效率高的优点。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器。

进一步地，在所述空气换热器上设有热介质进口与热介质出口。

进一步地，在所述多晶硅还原炉上设有出风口。

本实用新型各实施例的多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，由于包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器；通过将初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器进行集中模块化设置，可以大大缩小该干燥净化系统的体积；从而可以克服现有技术中体积大、结构复杂、使用不方便、稳定性差与工作效率低的缺陷，以实现体积小、结构简单、使用方便、稳定性好与工作效率高的优点。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为根据本实用新型多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统主视图的结构示意图；

图2为根据本实用新型多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统左视图的结构示意图。

结合附图，本实用新型实施例中附图标记如下：

1-亚高效过滤器；2-风机静压箱；3-鼓风机；4-高效过滤器；5-进风口；6-出风口；7-热介质进口；8-空气换热器；9-热介质出口；10-初效过滤器。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

根据本实用新型实施例，提供了一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统。如图1和图2所示，本实施例包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口5之间的初效过滤器10、鼓风机3、风机静压箱2、亚高效过滤器1、高效过滤器2与空气换热器8。

这里，在空气换热器8上设有热介质进口7与热介质出口9，在多晶硅还原炉上设有出风口6。

使用上述实施例的多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统时，空气经初效过滤器10初步净化后进入鼓风机；再经风机静压箱2后进入亚高效过滤器1与高效过滤器4进行空气净化，净化等级可为万级或十万级；然后利用空气换热器8对净化后的纯净空气进行加热处理，并送至多晶硅还原炉（钟罩）内。该多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统工作时的热风温度为60-90℃，时间为10-30分钟，可以使多晶硅还原炉（钟罩）的内部湿度低于1%；可以达到以下优点：⑴集中模块化干燥净化器体积小，适用于小空间环境的安装使用；⑵多晶硅还原炉（钟罩）干燥时空气净化、加热一体中完成；⑶结构简单，噪声振动小，工作性能稳定气体静压转化率高，气流流畅阻力低。