[实用新型]一种硅片传送机构的滚轮结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于多晶硅片水平在线制绒、清洗设备中进行硅片盛放和传送的滚轮。

背景技术

半导体硅片广泛应用于电子、通信和IT行业。在传统的多晶硅片制绒、清洗工序中，是将多晶硅片直接置于制绒、清洗设备的传送机构的滚轮上进行传送的；在生产时，制绒、清洗设备的传送机构的上、下滚轮经相同的线速度转动来带动硅片在化学药液中匀速通过，使硅片被均匀腐蚀从而产生优良的绒面效果。现有的硅片传送机构的滚轮结构，如图1所示，一般包括滚筒1′和滚轮杆2′，滚轮杆2′上设有若干个间隔设置的滚筒1′，各滚筒1′通过固定销3′分别固定在滚轮杆2′上，且各滚筒1′的两端分别套固有密封圈4′。

这种滚轮结构，由于硅片制绒工序所用的化学药液具有强酸、强碱、强腐蚀性的特点，故滚筒1′上的密封圈4′一般采用抗酸碱性强的密封圈，而抗酸碱性强的密封圈普通存在伸缩性差的问题，则滚筒1′上的密封圈4′在连续的生产过程中易被磨损，并易被生产出来的碎硅片扎出毛刺，则厂商在生产硅片时需常进行更换密封圈4′；然而，密封圈4′与滚筒1′固定连接，滚筒1′与滚轮杆2′固定连接，这样，若滚轮杆2′上其一滚筒1′上的密封圈4′需进行更换时只能将造价昂贵的整根滚轮进行更换，使滚轮的维修保养费用较高，并造成资源的浪费。

有鉴于此，本发明人对滚轮结构进行了深入研究，本案由此产生。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片传送机构的滚轮结构，以解决现有技术中因更换密封圈而造成滚轮的维修保养费用高，并造成资源浪费的问题。

本实用新型的技术方案是这样的：一种硅片传送机构的滚轮结构，包括滚筒和滚轮杆，该滚轮杆上设有若干个间隔设置的该滚筒，且各滚筒的两端分别套固有密封圈；各上述滚筒均与上述滚轮杆为可拆卸连接。

上述滚筒包括内套筒和外套筒，上述内套筒以可拆卸的方式固定安装在上述滚轮杆上，上述外套筒套固在上述内套筒外，上述外套筒的两端分别套固有上述密封圈。

上述外套筒的内侧壁或上述内套筒的外侧壁上凸设有定位凸块，且上述内套筒的外侧壁或上述外套筒的内侧壁上凹设有供上述定位凸块嵌入固定的固定凹槽，而且上述外套筒与上述内套筒之间具有间隙。

上述内套筒的第一端通过第一固定环与上述滚轮杆实现可拆卸连接，上述内套筒的第二端通过第二固定环及顶紧螺栓与上述滚轮杆实现可拆卸连接。

上述内套筒的第一端向外延伸设有第一安装片和第二安装片，上述第一安装片与上述第二安装片相对立设置，且上述第一安装片和上述第二安装片上分别开设有固定通孔，上述第一固定环套入上述内套筒的一端上，且上述第一固定环上凸设有分别相应卡入固定在两上述固定通孔内的顶紧定位块，上述顶紧定位卡入上述固定孔内并顶紧在上述滚轮杆的外侧壁上；上述内套管的第二端向外延伸凸设有安装板，上述第二固定环套装在上述安装板外，且上述第二固定环与上述安装板上分别开设有供上述顶紧螺栓伸入的螺栓孔，上述顶紧螺栓的自由端依次穿过上述第二固定环的螺栓孔、上述安装块的螺栓孔，且上述顶紧螺栓的自由端端部顶紧在上述滚轮杆的外侧壁上。

采用上述技术方案后，本实用新型的一种硅片传送机构的滚轮结构，由于套筒与滚轮杆为可拆卸连接，这样，若滚轮杆上某一套筒的密封圈被磨损或被碎硅片扎出毛刺后需进行更换密封圈时，可无需更换整根滚轮，只需把待更换密封圈的滚筒拆卸下来更换即可，不易造成资源的浪费，大大降低了滚轮的维修保养费用；又由于内套筒与外套筒之间具有间隙，这样使外套筒在带动硅片运动时不会因外套筒的作用力过大而压碎硅片。

附图说明

图1为现有技术的立体图；

图2为本实用新型的立体图；

图3为本实用新型的结构示意图。

图中：

滚筒        1′      滚轮杆      2′

固定销      3′      密封圈      4′

滚轮杆      1        滚筒        2

内套筒      21       第一安装片  211

第二安装片  212      固定通孔    213

固定通孔    214      安装板      215

螺栓孔      216      闭环形凸环  217

外套筒      22       密封圈      3

第一固定环  4        顶紧定位块  41