[实用新型]一种减压干燥设备有效
| 申请号： | 201120192355.7 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN202067075U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李勃 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 减压 干燥设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种减压干燥设备，其特征在于，所述减压干燥设备腔室的至少一个盖板上具有抽气孔，其中，
所述盖板上距离中心位置越近的区域，抽气孔的分布密度越大；盖板上距离中心位置越远的区域，抽气孔的分布密度越小。
2.根据权利要求1所述的减压干燥设备，其特征在于，所述盖板为上盖板，或者为下盖板，或者为上盖板和下盖板。
3.根据权利要求1或2所述的减压干燥设备，其特征在于，根据所述盖板上与中心的距离不同，所述抽气孔的孔径不同。
4.根据权利要求3所述的减压干燥设备，其特征在于，距离中心越远的抽气孔孔径越大。
5.根据权利要求1或2所述的减压干燥设备，其特征在于，所述盖板上的抽气孔的孔径大小相同。
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