[实用新型]一种新型水冷挡板结构有效

专利信息
申请号: 201120187574.6 申请日: 2011-06-03
公开(公告)号: CN202116639U 公开(公告)日: 2012-01-18
发明(设计)人: 董湧法;陈平;刘辉 申请(专利权)人: 上海涌真机械有限公司
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201700 上海市青浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 水冷 挡板 结构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及真空技术领域,具体是一种新型水冷挡板结构。

背景技术

随着科学技术的发展,对真空系统的要求越来越高,真空系统需要洁净环境,更高的抽速。

而传统结构的水冷挡板在真空系统中冷却效果不佳,对抽速影响大;使用一段时间后污染物不易清洁,容易引起二次污染。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简单、安装维修方便、设计合理、便于清洁的新型水冷挡板结构。

为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种新型水冷挡板结构,其特征在于:包括

一上法兰;

一下法兰;

一水冷挡板;

一排污清洁口;

两个双层水冷壁结构V型腔体,其中

所述上法兰、下法兰之间设置双层水冷壁结构V型腔体A和双层水冷壁结构V型腔体B,所述双层水冷壁结构V型腔体B设有水冷挡板,所述上法兰近双层水冷壁结构V型腔体B一端设有进水口,所述下法兰近双层水冷壁结构V型腔体B一端设有出水口,所述双层水冷壁结构V型腔体A设有排污清洁口。

所述由上法兰、下法兰、两个双层水冷壁结构V型腔体、水冷挡板构成的新型水冷挡板结构外部形状为圆形或正方形或长方形。

所述双层水冷壁结构V型腔体A和双层水冷壁结构V型腔体B可以是带流体冷却或不带流体冷却的。

所述排污清洁口的结构不限,同时可以安装或不安装。

本实用新型通过双层水冷壁结构V型腔体A和水冷挡板构成了V型的气流通道,该结构有效的对气流和蒸汽进行冷却同时不影响真空抽速;在使用结束后,可以利用排污清洁口对冷却堆积物进行清洁。

由于双层水冷壁结构V型腔体A和双层水冷壁结构V型腔体B之间设有导流腔,因此由进水口进入的水不仅能通过双层水冷壁结构V型腔体B,也能通过导流腔将水引入双层水冷壁结构V型腔体A,由进水口进入的水在流经双层水冷壁结构V型腔体A和双层水冷壁结构V型腔体B之后通过出水口流出。

本实用新型的有益效果是:

1、结构简单、安装维修方便、设计合理抽速大、便于清洁有效解决二次污染。

2、本实用新型能满足不同介质的冷却需要,不仅仅限于水,还包括其他流体、半流体、气体。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

如图1所示,一种新型水冷挡板结构,其包括:上法兰1、下法兰2,水冷挡板3,排污清洁口4、两个双层水冷壁结构V型腔体,其中所述上法兰1、下法兰2之间设置双层水冷壁结构V型腔体A5和双层水冷壁结构V型腔体B6,所述双层水冷壁结构V型腔体B6设有水冷挡板3,所述上法兰1近双层水冷壁结构V型腔体B6一端设有进水口10,所述下法兰2近双层水冷壁结构V型腔体B6一端设有出水口20,所述双层水冷壁结构V型腔体A5设有排污清洁口4。

所述由上法兰、下法兰、两个双层水冷壁结构V型腔体、水冷挡板构成的新型水冷挡板结构外部形状为圆形或正方形或长方形(图中未示)。

所述双层水冷壁结构V型腔体A和双层水冷壁结构V型腔体B可以是带流体冷却或不带流体冷却的。

所述排污清洁口的结构不限,同时可以安装或不安装。本实施例安装有排污清洁口4。

由于双层水冷壁结构V型腔体A5和双层水冷壁结构V型腔体B6之间设有导流腔8和导流腔9,因此由进水口10进入的水不仅能通过双层水冷壁结构V型腔体B6,也能通过导流腔8将水引入双层水冷壁结构V型腔体A5,再通过导流腔9将水送至出水口,由进水口进入的水在流经双层水冷壁结构V型腔体A和双层水冷壁结构V型腔体B之后通过出水口流出。

本实用新型通过双层水冷壁结构V型腔体A5和水冷挡板3构成了V型的气流通道7,该结构有效的对气流和蒸汽进行冷却同时不影响真空抽速;当蒸汽或者气流从左侧进入本实用新型之后,通过从进水口10进入的水流经双层水冷壁结构V型腔体A5和双层水冷壁结构V型腔体B6,对进入的待冷却介质进行冷却作业,在工作结束后,可以利用排污清洁口4对冷却堆积物进行清洁。

本新型水冷挡板结构已成功得应用于真空镀膜机的抽气口,在抽气口上有效得避免了返油现象的问题,同时由于方便清洁避免二次污染;在分子泵的前级抽气口的应用有效避免了颗粒对叶片的损伤。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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