[实用新型]一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置无效
申请号: | 201120180924.6 | 申请日: | 2011-05-31 |
公开(公告)号: | CN202080899U | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
发明(设计)人: | 张维;王岭;刘勇;周华丽 | 申请(专利权)人: | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 刘雪莲;林辉轮 |
地址: | 614000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 炉硅芯 夹持 装置 | ||
1.一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括卡瓣、盖子和底座,卡瓣的中心设有垂直的圆孔,所述圆孔的直径与硅芯的直径大小相适配,卡瓣通过盖子安装在底座上,盖子通过螺纹与底座连接,其特征在于:所述卡瓣包括上部的圆锥台和下部的圆柱体,所述圆柱体的直径大于圆锥台底面的直径。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述圆孔的直径为7-11mm。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:卡瓣中心设置的圆孔与圆锥台及圆柱体同轴心。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述卡瓣的圆锥台部分设有垂直的十字形切口,十字形切口的中心线与圆孔的轴心重合。
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述十字形切口的宽度为1.5-3mm。
6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述盖子为石墨盖子。
7.根据权利要求6所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨盖子为高纯石墨等静压成型制得。
8.根据权利要求6或7所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨盖子的直径为110-130mm。
9.根据权利要求6或7所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨盖子的高度为60-80mm。
10.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述底座为石墨座子。
11.根据权利要求10所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨座子为高纯石墨等静压成型制得。
12.根据权利要求10或11所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨座子的直径为75-85mm。
13.根据权利要求10或11所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨座子的高度为60-80mm。
14.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述卡瓣为石墨卡瓣。
15.根据权利要求14所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于:所述石墨卡瓣的圆锥台部分和圆柱体部分是一整体。
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