[实用新型]一种硅烷的制备装置

权利要求书

1.一种硅烷的制备装置，其特征在于，包括：三氯氢硅反应器、二氯氢硅反应器、硅烷反应器、硅烷收集罐；

所述三氯氢硅反应器通过管道连接硅粉和催化剂的供应口，并且通过管道连接氢气供应口、四氯化硅储存罐、以及氯化氢储存罐；

所述二氯氢硅反应器与三氯氢硅反应器通过管道连接，并且二氯氢硅反应器通过管道连接氢气供应口；

所述硅烷反应器与二氯氢硅反应器通过管道连接，并且硅烷反应器通过管道连接氢气供应口；

所述硅烷收集罐与硅烷反应器通过管道连接。

2.根据权利要求1所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述三氯氢硅反应器的下端设有气液进口，所述气液进口的外侧设有第一加热器，所述氢气供应口、四氯化硅储存罐、氯化氢储存罐通过管道连接至所述第一加热器，并且连接四氯化硅储存罐、氯化氢储存罐的管道上安装有增压泵。

3.根据权利要求1所述的硅烷的制备装置，其特征在于，连接所述三氯氢硅反应器与所述二氯氢硅反应器的管道上依次安装有杂质分离器、第一分离塔、第二分离塔。

4.根据权利要求3所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述三氯氢硅反应器设有反应物出口，所述杂质分离器通过管道连接所述反应物出口；所述杂质分离器上连接有换热器，杂质分离器的下端设有固体杂质排出口，杂质分离器的上端设有氢气出口，所述氢气出口通过管道连接至氢气供应口，杂质分离器的侧面还设有混合产物出口，所述混合产物出口通过管道连接至第一分离塔，连接混合产物出口与第一分离塔的管道上安装有第一缓存罐和进料泵。

5.根据权利要求3所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述第一分离塔上设有四氯化硅出口和氯硅烷出口，所述氯硅烷出口位于四氯化硅出口的上方，所述四氯化硅出口通过管道连接至所述四氯化硅储存罐，所述氯硅烷出口通过管道连接至第二分离塔，氯硅烷出口与第二分离塔之间的管道上安装有第二缓存罐和进料泵。

6.根据权利要求5所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述第二分离塔上设有三氯氢硅出口和二氯氢硅出口，所述二氯氢硅出口位于三氯氢硅出口的上方，所述三氯氢硅出口通过管道连接至所述二氯氢硅反应器，三氯氢硅出口与二氯氢硅反应器之间的管道上安装有第三缓存罐和进料泵；所述二氯氢硅出口通过管道连接至所述硅烷反应器，二氯氢硅出口与硅烷反应器之间的管道上安装有第四缓存罐和进料泵。

7.根据权利要求6所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述二氯氢硅反应器的上端设有反应物出口，所述反应物出口连接至所述第一分离塔，所述二氯氢硅反应器的下端设有原料进口，所述原料进口的外侧设有第二加热器，所述氢气供应口、第三缓存罐通过管道连接至所述第二加热器。

8.根据权利要求6所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述硅烷反应器的上端设有反应物出口，所述反应物出口连接至所述第二分离塔，所述硅烷反应器的下端设有原料进口，所述原料进口的外侧设有第三加热器，所述氢气供应口、第四缓存罐通过管道连接至所述第三加热器。

9.根据权利要求3-8任意一项所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述硅烷的制备装置还包括第三分离塔和第四分离塔，所述第一分离塔和第二分离塔的上端均设有气液出口，所述第三分离塔设有气液入口、氯化氢出口、硅烷和氢气的出口，所述气液入口与所述第一分离塔和第二分离塔的气液出口通过管道连接，所述氯化氢出口连接至氯化氢储存罐，所述硅烷和氢气的出口与第四分离塔通过管道相连接。

10.根据权利要求9所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述第一分离塔、第二分离塔和第三分离塔上均连接有换热器。

11.根据权利要求9所述的硅烷的制备装置，其特征在于，所述第四分离塔设有硅烷出口以及氢气出口，所述氢气出口设于硅烷出口的上方，所述硅烷出口连接至硅烷收集罐，所述氢气出口连接至所述氢气供应口。