[实用新型]一种新型单晶炉提拉头的传动机构无效
申请号: | 201120165510.6 | 申请日: | 2011-05-20 |
公开(公告)号: | CN202100674U | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 高林杰 | 申请(专利权)人: | 高林杰 |
主分类号: | F16H37/02 | 分类号: | F16H37/02 |
代理公司: | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人: | 戴中生 |
地址: | 362200 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉提拉头 传动 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉提拉头的传动机构。
背景技术
单晶炉是单晶体的生长设备,按照晶体生长方法可分为提拉法单晶炉、坩埚下降法单晶炉和区熔法单晶炉,其中提拉法单晶炉是目前晶体生长方法中最为常用的一种方法。提拉头是提拉法单晶炉最为重要的组成部分,安装在单晶炉上炉筒的顶端,主要实现高低速籽晶升降与旋转功能。现有单晶炉提拉头的传动机构,一般包括直流电机、电子离合器、行星变速器、快慢速齿轮付及多级蜗轮蜗杆减速器等零部件组成,由于多级蜗轮蜗杆减速器、电子离合器与行星变速器之间的连接需采用联轴器来连接,这样易造成传动机构的整体体积较大。
鉴于上述理由,本发明人对提拉头的传动机构进行了深入研究,本案由此产生。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种整体体积较小的新型单晶炉提拉头的传动机构。
本实用新型的技术方案是这样的:一种新型单晶炉提拉头的传动机构,包括快速电机、慢速电机、蜗轮蜗杆、传动轴、第一慢速齿轮、第二慢速齿轮和行星齿轮,上述蜗轮蜗杆的蜗轮与提拉头的输入轴固定连接,上述蜗轮蜗杆的蜗杆上固设有蜗杆齿轮,上述传动轴的轴心与上述蜗轮蜗杆的蜗杆轴的轴心处于同一轴线上,上述传动轴的第一端上固设有快速齿轮,上述蜗杆齿轮和上述快速齿轮分别与上述行星齿轮相啮合,上述传动轴的第二端活动穿出上述第一慢速齿轮的轴心处,并与上述快速电机的输出轴传动连接,上述行星齿轮的转轴与上述第一慢速齿轮固定连接,上述第二慢速齿轮与上述第一慢速齿轮相啮合,上述第二慢速齿轮的轴心上固设有传动轴,此第二慢速齿轮的传动轴与上述慢速电机的输出轴传动连接。
上述第一慢速齿轮内设有支承上述传动轴的轴承。
上述传动轴的第二端通过传动皮带与上述快速电机的输出轴传动连接,且上述传动轴的第二端端部上设有第一同步皮带轮,上述快速电机的输出轴上设有第二同步皮带轮,上述传动皮带绕设有上述第一同步皮带轮和上述第二同步皮带轮上。
上述蜗杆齿轮的齿数为17,上述快速齿轮的齿数为16。
采用上述方案后,本实用新型的一种新型单晶炉提拉头的传动机构,若籽晶需处于慢速升降工作状态时,只需启动慢速电机,慢速电机带动第二慢速齿轮转动,第二慢速齿轮的转动可带动第一慢速齿轮转动,第一慢速齿轮的转动可带动行星齿轮的转轴转动,行星齿轮的转轴的转动可带动行星齿轮转动,由于蜗杆齿轮和快速齿轮分别与行星齿轮相啮合,而快速齿轮与传动轴固定连接,这样行星齿轮的转动只带动蜗杆齿轮的转动,蜗杆齿轮的转动带动蜗轮蜗杆的蜗杆轴转动,则蜗轮蜗杆的蜗轮轴可带动提拉头转动,这样即可使籽晶处于慢速升降工作状态中;若籽晶需处于快速升降工作状态时,只需启动快速电机,快速电机带动转动轴转动,此时转动轴上的快速齿轮可带动行星齿轮转动,行星齿轮的转动可带动蜗杆齿轮转动,蜗杆齿轮的转动可带动蜗轮蜗杆的蜗杆轴转动,则蜗轮蜗杆的蜗轮轴可带动提拉头转动,这样即可使籽晶处于快速升降工作状态中。与现有技术相比,本实用新型的一种新型单晶炉提拉头的传动机构,利用慢速电机和快速电机来分别控制籽晶的慢速升降和快速升降的工作状态,各部件之间无需采用联轴器连接,使传动机构的整体体积较小,结构较为简单。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中:
快速电机 1 输出轴 11
慢速电机 2 输出轴 21
蜗轮蜗杆 3 蜗轮 31
蜗杆 32 蜗杆齿轮 321
传动轴 4 快速齿轮 41
第一慢速齿轮 5 第二慢速齿轮 6
传动轴 61 行星齿轮 7
转轴 71 传动皮带 81
第一同步皮带轮 82 第二同步皮带轮 83
轴承 9
具体实施方式
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