[实用新型]一种坩埚模具液压油缸转动装置有效
| 申请号: | 201120164977.9 | 申请日: | 2011-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN202030647U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
| 发明(设计)人: | 王文庆;王定永 | 申请(专利权)人: | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 |
| 主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 315480 浙江省余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 模具 液压油 转动 装置 | ||
技术领域
本实用新型为一种液压油缸转动装置,特别涉及一种制作石英坩埚的坩埚模具液压油缸转动装置,属于液压传动连接装置技术领域。
背景技术
用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。通常在制作石英坩埚时,坩埚模具的操作通过液压齿轮传动来控制,会经常产生漏油的情况。且液压齿轮传动行程小,使坩埚模具在操作过程中,转动角度不容易达到要求,往往导致新成型的石英坩埚从坩埚模具中取出困难,甚至产生石英坩埚在取出时产生破损的情况,造成不必要的经济损失。还有液压齿轮传动不稳定,增加了工人的操作难度,在一定程度上,对石英坩埚的制作质量产生不利影响。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对上述现有技术中,坩埚模具在操作过程中,转动角度无法达到要求、传动不稳定及容易漏油的缺陷,提供了一种坩埚模具液压油缸转动装置,可达到坩埚模具在操作过程中,转动角度可精确控制、传动稳定、并杜绝漏油的目的。
为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是:一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括坩埚模具、转动轴、轴套和支撑板侧板;所述坩埚模具与转动轴固定连接,转动轴与支撑板转动连接;所述轴套位于支撑板侧板上部,与支撑板侧板固定连接,所述坩埚模具液压油缸转动装置还包括液压系统、转动连接杆,所述液压系统包括液压缸和液压杆,液压系统位于转动轴下方,液压系统的液压缸与支撑板侧板下部转动连接,转动连接杆一端与转动轴固定连接,转动连接杆另一端与液压杆转动连接。
所述液压杆伸出、坩埚模具转到上方位置时,坩埚模具中心线与垂线的角度为6-20°。
所述液压杆伸出时,坩埚模具转到上方位置时,坩埚模具中心线与垂线的角度为6°。
所述液压杆伸出时,坩埚模具转到上方位置时,坩埚模具中心线与垂线的角度为16°。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
(1)本实用新型在操作中,产生的行程大,坩埚模具的转动角度完全能达到要求,使新成型的石英坩埚能方便地、完好无损地从坩埚模具中取出,确保了坩埚模具最后的生产质量。
(2)本实用新型在操作中传动稳定,工人易操作、易控制,对生产过程、进而对产品质量起到了保证作用。
(3)本实用新型克服了常用液压齿轮传动会经常产生漏油的缺陷,杜绝了漏油情况的发生。
附图说明
附图1:本实用新型液压杆伸出时的主视图;
附图2:本实用新型液压杆缩回时的主视图。
附图标记说明:1坩埚模具、2转动轴、3轴套、4支撑板侧板、5转动连接杆、6液压缸、7液压杆。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,但不作为对本实用新型的限定。
实施例1:
如图1-2所示,一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括坩埚模具1、转动轴2、轴套3和支撑板侧板4;所述坩埚模具1与转动轴2固定连接,转动轴2与轴套3转动连接;所述轴套3位于支撑板侧板4上部,与支撑板侧板4固定连接,所述坩埚模具液压油缸转动装置还包括液压系统、转动连接杆5,所述液压系统包括液压缸6和液压杆7,液压系统位于转动轴2下方,液压系统的液压缸6与支撑板侧板4下部转动连接,转动连接杆5一端与转动轴2固定连接,转动连接杆5另一端与液压杆7转动连接。
所述液压杆7伸出时、坩埚模具1转到上方位置时,坩埚模具1中心线与垂线的角度α为6°。
实施例2:
如图1-2所示,一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括坩埚模具1、转动轴2、轴套3和支撑板侧板4;所述液压杆7伸出时、坩埚模具1转到上方位置时,坩埚模具1中心线与垂线的角度α为16°。
余同实施例1。
以上所述的实施例,只是本实用新型较优选的具体实施方式的二种,本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
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