[实用新型]石英晶片的清洗装置

权利要求书

1.一种石英晶片的清洗装置，它包括设有溢水口(8)的清洗桶(3)，清洗桶(3)内设有用于放置石英晶片的网笼(4)，清洗桶(3)底部安装有超声波振子(9)，其特征是清洗桶(3)底部设有孔，所述的孔与由电磁阀控制的进水管(5)和出水管(6)连通，所述的电磁阀、超声波振子(9)由PLC控制装置控制，实现对石英晶片的初洗、至少二次的清洗。

2.根据权利要求1所述石英晶片的清洗装置，其特征是清洗桶(3)内设有用于安装网笼(4)的网笼架(10)，网笼架(10)安装在离心机(7)的主轴(12)上，所述的离心机(7)由PLC控制装置控制，实现对石英晶片的脱水甩干。

3.根据权利要求2所述石英晶片的清洗装置，其特征是所述的网笼架(10)通过支架(11)安装在离心机(7)的主轴(12)上，网笼架(10)通过销轴(13)与支架(11)连接。

4.根据权利要求1或2或3所述石英晶片的清洗装置，其特征是清洗桶(3)上设有桶盖(1)，桶盖(1)上设有烘干器，所述的烘干器由PLC控制装置控制，实现对石英晶片的烘干。

5.根据权利要求4所述石英晶片的清洗装置，其特征是所述的烘干器为碘钨灯(2)。