[实用新型]一种非制冷式红外焦平面阵列探测器

权利要求书

1.一种非制冷式红外焦平面阵列探测器，包括基底、桥面及桥腿，其特征在于：所述的桥腿的一边端部与桥面连接在一起，另一边端部通过锚柱连接在基底上；所述的基底为读出集成电路衬底，表面上设有反射膜层；所述的桥面是悬空在反射膜层的正上方，并与基底之间形成真空间隙层。

2.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的桥腿设置在桥面相对应的二侧上，且桥腿与桥面各自的下表面分布于同一平面上。

3.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的桥面从下到上依次为支撑层、吸收层、绝缘层、热敏感层和保护层。

4.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的桥腿从下到上依次为热阻层、导电层和钝化层。

5.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的锚柱由金属钨柱和氧化硅柱组成，该锚柱从内到外依次是金属钨和氧化硅材料。

6.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的真空间隙层的厚度为1.8～2.5μm。

7.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的锚柱在相平行于基底方向上的横截面为圆形、矩形或八边形。

8.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的基底表面上反射膜层的材料是铝、钛、金或金属合金，在8～14μm红外波段的反射率范围为80％～100％。

9.根据权利要求1所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的桥面、桥腿、锚柱及基底表面的反射膜层作为一个探测器单元，是以二维阵列的形式，排列在基底之上。

10.根据权利要求1-9之一所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的桥腿的一边端部与桥面的热敏感层电学相连，另一边端部通过锚柱实现与基底的读出电路之间的电学相连。

11.根据权利要求3所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征 在于：所述的热敏感层的材料为非晶硅、非晶锗硅或氧化钒。

12.根据权利要求3或4所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的桥面的支撑层与桥腿的热阻层采用同一材料，且为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅；桥面的吸收层与桥腿的导电层采用同一材料，且为氮化钛或镍铬合金；桥面的绝缘层与桥腿的钝化层采用同一材料，且为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅；桥面的保护层材料为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。

13.根据权利要求3所述的非制冷式红外焦平面阵列探测器，其特征在于：所述的吸收层在桥面上是不连续的，被分割成若干部分。