[实用新型]用于聚光太阳能热发电集热管内管的高温抗氧化选择性吸收膜的膜系结构有效
| 申请号： | 201120142221.4 | 申请日： | 2011-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN202133166U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 郭廷玮;俞科 | 申请（专利权）人： | 常州龙腾太阳能热电设备有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/50 | 分类号： | F24J2/50;B32B15/04;B32B15/18;B32B9/04 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人： | 夏海初 |
| 地址： | 213163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 聚光 太阳能 发电 热管 高温 氧化 选择性 吸收 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于聚光太阳能热发电集热管内管的高温抗氧化选择性吸收膜的膜系结构，包括不锈钢基体（1），其特征在于，在不锈钢基体（1）表面，由内到外依次是Ti膜（2），TiAlON膜（3）和Al2O3膜（4）。
2.根据权利要求1所述的用于聚光太阳能热发电集热管内管的高温抗氧化选择性吸收膜的膜系结构，其特征在于，所述TiAlON膜（3），包括高N含量的第一TiAlON膜（3-1）和低N含量的第二TiAlON膜（3-2），且由内到外依次布置。
3.根据权利要求2所述的用于聚光太阳能热发电集热管内管的高温抗氧化选择性吸收膜的膜系结构，其特征在于，所述高N含量的第一TiAlON膜（3-1）和低N含量的第二TiAlON膜（3-2）的厚度均在60~90nm范围，且两者的总厚度在120~180 nm范围内。
4.根据权利要求1所述的用于聚光太阳能热发电集热管内管的高温抗氧化选择性吸收膜的膜系结构，其特征在于，所述Ti膜（2）的厚度在100~150nm范围内，Al2O3膜（4）的厚度在50~100nm范围内。
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