[实用新型]带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统

权利要求书

1.一种带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，其特征在于，包括：

一平面电机；和

一Z轴电机；

所述平面电机包括一X线圈电机和一Y直线无刷电机，分别对应提供X方向和Y方向上的力，Z轴电机提供Z方向上的力。

2.根据权利要求1所述的带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，其特征在于，所述线圈在尺寸上小于磁铁，每个轴在完成所需要的行程或移动时具有以下关系：

Sx＝Lx1-Cx1；

Sy＝Ly1-Cy1；

Sx是X轴的最大行程；

Sy是Y轴的最大行程；

Lx1是在X方向两排磁铁边缘之间的距离；

Ly1是在Y方向两个极端磁铁边缘之间的距离；

Cx1是在X方向上的X线圈的宽度；

Cy1是在Y方向上的Y线圈的长度。

3.根据权利要求1所述的带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，其特征在于，所述线圈在尺寸上小于磁铁，其必须满足以下关系：

Lx2-Cx2≥Sy；

Lx2是X磁铁每排的总长；

Cx2是在Y方向上X线圈的长度。

4.根据权利要求1所述的带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位，其特征在于，所述线圈在尺寸上小于磁铁，其必须满足以下关系：

Ly2-Cy2≥Sx

Ly2是每个Y磁铁的总长度；

Cy2是在X方向上Y线圈的宽度。

5.根据权利要求1所述的带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，其特征在于，所述平面电机直接连接到所述Z轴电机。

6.根据权利要求1所述的带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，其特征在于，还包括一气浮轴承，通过所述气浮轴承引导X方向和Y方向上的运动。

7.根据权利要求1所述的带有减少移动质量的直驱XYZ轴定位系统，其特征在于，还包括一直线轴承，所述直线轴承用于引导在X方向和Y方向上所述平面电机的运动。