[实用新型]一种太阳能扩散炉废气截流液化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于太阳能扩散炉废气截流液化装置。

背景技术

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉在工作过程中，经高温扩散产生的尾气直接进入排气管道，会产生较多的废气排放，不仅影响厂区空气质量，还会造成一定的大气污染。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种使太阳能扩散炉中废气得以截流并液化的装置。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种太阳能扩散炉废气截流液化装置，其特征在于：包括固定在扩散炉上的瓶体，导气管的一端连接扩散炉的尾部，另一端连接瓶体，在瓶体内设有石英小管，在瓶体的顶部开有排气口。

进一步，所述瓶体设于固定瓶体平台上，固定瓶体平台通过固定螺丝固定在所述扩散炉上。

所述石英小管在所述瓶体内不规则堆放，且堆满瓶体。

本实用新型提供的用于用于太阳能扩散炉废气截流液化装置，扩散工艺产生的高温废气通过导气管导入废气截流的集气瓶，通过集气瓶中的大量石英小管的缓冲，废气在集气瓶中的冷却时间得到较大幅度的延长，可以使排入集气瓶的废气得到充分的冷却液化，进一步减少废气的排放。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种太阳能扩散炉废气截流液化装置的俯视图；

图2为本实用新型提供的一种太阳能扩散炉废气截流液化装置的侧视图。

具体实施方式

为使本实用新型更明显易懂，兹以一优选实施例，并配合附图作详细说明如下。

如图1及图2所示，为本实用新型提供的一种太阳能扩散炉废气截流液化装置，包括瓶体1，瓶体1设于固定瓶体平台6上，固定瓶体平台6通过固定螺丝4固定在所述扩散炉上，导气管5的一端连接扩散炉的尾部，另一端连接瓶体1，在瓶体1内设有石英小管2，石英小管2在瓶体1内不规则堆放，且堆满瓶体1，瓶体1的顶部开有排气口3。

本实用新型的工作过程如下：太阳能晶硅电池在扩散工艺产生的高温废气从扩散炉尾部的导气管5导入废气截流的瓶体1，通过瓶体1中的大量石英小管2的缓冲截流，废气在瓶体1中的冷却时间得到较大幅度的延长，可以使排入瓶体1的废气得到充分的冷却液化，从而使对外排气管道内的废气排放实现进一步减少。