[实用新型]大负载真空室送样装置

权利要求书

1.一种大负载真空室送样装置，其设置于真空室(11)中，其特征在于，其由位移平台(16)、磁流体密封装置(14)、心轴(13)、调节手轮(15)、底座(17)、平台标尺(18)、以及设置在真空室(11)中的玻璃观察窗(19)组成，通过转动所述调节手轮(15)，驱动所述磁流体密封装置(14)同步运行，所述磁流体密封装置(14)再驱动心轴(13)带动位移平台(16)运动，以实现对物品(12)的运送。

2.如权利要求1所述的大负载真空室送样装置，其特征在于，所述位移平台(16)还包括矩形载物台(21)、导轨(22)、自锁丝杆(23)和传动杆(24)，其中所述传动杆(24)受磁流体密封装置(14)的心轴(13)驱动。

3.如权利要求2所述的大负载真空室送样装置，其特征在于，所述位移平台(16)上有平台标尺(18)。

4.如权利要求1-3之一所述的大负载真空室送样装置，其特征在于，所述磁流体密封装置(14)包括：密封胶圈(31)、联接法兰(32)、轴承(33)、密封O形圈(34)、永磁体(35)、极靴(36)、磁性流体(37)。

5.如权利要求4所述的大负载真空室送样装置，其特征在于，所述真空室送样装置通过自锁丝杠(23)驱动位移平台(16)前后移动，位移平台(16)的移动范围可调，精度高达5μm，位移平台(16)可驱动重量超过20kg的物体。