[实用新型]一种电弧离子镀设备

权利要求书

1.一种电弧离子镀设备，其特征在于：该电弧离子镀设备设有三套磁场发生装置，包括：

用于对阴极靶发射的金属离子流进行聚束的第一磁场发生装置，设置在真空室外与阴极靶后面对应的位置；所述第一磁场发生装置为在中间安装镀镍纯铁的电磁线圈或者环形永磁体，该电磁线圈或环形永磁体通过圆形或矩形的第一支撑筒/架固定在与电弧离子镀设备外壳连接的可移动工作台上，第一磁场发生装置的中心轴与阴极靶的中心轴重合，通过移动工作台调整电磁线圈或环形永磁体与阴极靶之间的距离；

用于同第一磁场发生装置配合对金属离子流进行聚束的第二磁场发生装置，设置在真空室内阴极靶与工件之间，通过圆形或矩形的第二支撑筒/架固定在与真空室壁相连的工作台上；

用于将已聚束金属离子流发散并向长管内表面或深孔内壁高速运动的第三磁场发生装置，设置于真空室内工件的外周，通过圆形或矩形第三支撑筒/架绝缘固定在与真空室壁相连的工作台上；

一脉冲偏压电源，阳极接于工件内孔中心悬空的工件辅助电极和真空室壁并接地，阴极与真空室内的第三支撑筒/架相连。

2.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述第一支撑筒/架内径或边长为2-25cm，长度为5-20cm，第一磁场发生装置所产生的磁感应强度为1000-5000Gauss。

3.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述第二磁场发生装置为电磁线圈，固定于第二支撑筒/架外周，该第二支撑筒/架内径或边长为2-25cm，长度为5-20cm，其中心轴与阴极靶的中心轴重合，所产生磁感应强度为500-4000Gauss，磁场方向与第一磁场发生装置产生的磁场方向相同。

4.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述第三磁场发生装置为一电磁线圈组，该电磁线圈组固定于第三支撑筒或支撑架外周，第三支撑筒/架内径或边长2-25cm，长度为10-60cm，其中心轴与阴极靶的中心轴重合，该电磁线圈组由5-15个长度为2-4cm的单个线圈密排组成，每个线圈分别外接电源控制，所产生磁场的磁感应强度为1000-5000Gauss，极性与第一磁场发生装置产生的磁场极性方向相反，通过调节每个线圈上的电流使所产生磁场的磁感应强度沿工件深度梯度减小分布。

5.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述脉冲偏压电源产生脉冲电场作用于工件内，电场电压为100-2000V，脉冲频率为50-2000Hz，占空比为20-80％。

6.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述的工件为长管或深孔结构器件。

7.按照权利要求5所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述长管为通孔结构，长度为10-60cm，内径或边长为0.6-15cm，壁厚为0.1-10cm。

8.按照权利要求5所述的所述的电弧离子镀设备，其特征在于：所述的长管或深孔器件为盲孔结构，孔径或边长为0.6-15cm，长度为1-40cm。

9.按照权利要求1、2和3所述的电弧离子镀设备，其特征在于：电磁线圈采用耐高温漆包线缠绕，外面缠绕耐高温的玻璃丝布，每个线圈通过单独外接电源控制，所采用的电流形式是直流、交流或脉冲。

10.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：对于弧源阴极靶的起弧方式，为机械接触式或高压脉冲式。

11.按照权利要求1所述的电弧离子镀设备，其特征在于：还包括与三套磁场发生装置和阴极靶对称结构设置的磁场结构和阴极靶结构，对称面为以第三磁场发生装置的末端所在面且与工件水平方向垂直。