[实用新型]光学薄膜成膜的直接式光学监控系统

权利要求书

1.一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置，所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘，所述光源灯泡及聚光透镜组件均安装在成膜腔体内，所述光纤的输出端连接光接收装置，其受光端经聚光透镜组件光路连接光源灯泡，且所述聚光透镜组件与光源灯泡之间的连接光路穿过工件盘；其特征在于：所述成膜腔体内固设有一透镜支架、一光源支架，所述透镜支架及光源支架分别位于工件盘的上下两侧，且透镜支架及光源支架的架体均从工件盘中部延伸至工件盘边缘；

所述透镜支架上设有沿工件盘的径向移动的透镜固定件，并设有用于固定透镜固定件位置的透镜定位件，所述聚光透镜组件固定在透镜固定件上；

所述光源支架上设有沿工件盘的径向移动的光源固定件，并设有用于固定光源固定件位置的光源定位件，所述光源灯泡固定在光源固定件上。

2.根据权利要求1所述的光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，其特征在于：所述光接收装置包括数据处理器，及用于将光单色化的单色仪，用于将光信号转化成电信号的光电转换器；

所述数据处理器设有光量电信号采集口及通信接口，其光量电信号采集口连接光电转换器的电信号接口；

所述单色仪的光入射口连接光纤的输出端，其光出射口连接光电转换器的光信号接口。

3.根据权利要求2所述的光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，其特征在于：所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘驱动环，所述工件盘挂置于该工件盘驱动环上。

4.根据权利要求3所述的光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，其特征在于：还包括常开型的原点触发开关，及用于检测工件盘放置角度的旋转编码器，所述数据处理器设有两个角度信号输入口，其两个角度信号输入口分别电气连接原点触发开关及旋转编码器；所述旋转编码器的转轴与工件盘驱动环的转轴齿合或轴接，所述工件盘驱动环的转轴上设有用于拨动原点触发开关闭合的拨杆。

5.根据权利要求1所述的光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，其特征在于：安装在透镜支架上的聚光透镜组件为第一聚光透镜组件，所述成膜腔体中固设有用于间接式光学监控的第二聚光透镜组件。