[实用新型]透镜保持装置及设有透镜保持装置的透镜检查装置

权利要求书

1.一种透镜保持装置，将多个被检透镜以能够进行位置调整地加以保持，其特征在于，

设有：底座、载物台、X轴方向移动机构、透镜保持板以及Y轴方向支撑机构；

所述载物台在该底座的X轴方向上呈能够移动地被支撑，

所述X轴方向移动机构使所述载物台在X轴方向上移动，

所述透镜保持板具有多个透镜保持部，并在所述载物台上被支撑为能够在与所述X轴方向垂直相交的Y轴方向上移动，

所述Y轴方向支撑机构将所述透镜保持板以能够在Y轴方向上移动地加以支撑；

所述Y轴方向支撑机构，包括在所述载物台的所述Y轴方向上延伸设置的一对导向部，和形成于所述透镜保持板上并与所述导向部卡合的卡合部；

通过所述X轴方向移动机构和所述Y轴方向支撑机构，将所述透镜保持板和保持于该透镜保持板上的多个被检透镜以能够移动至XY轴方向的任意位置地加以保持。

2.如权利要求1所述的透镜保持装置，其特征在于，进而设有使所述载物台在所述底座的Z轴方向上升降的Z轴方向升降机构。

3.如权利要求1所述的透镜保持装置，其特征在于，

所述X轴方向移动机构具有在X轴方向上延伸设置的一对导向轴，在该导向轴的至少一方上形成有螺纹部，在所述载物台上形成有与所述螺纹部螺合的轴承部，通过使所述导向轴旋转而使所述载物台在X轴方向上移动。

4.一种透镜检查装置，设有如权利要求1～3的任意一项所记载的透镜保持装置，以及包括照射光束的光源和参考面的光学系统，对被检透镜和所述参考面照射所述光束并根据干涉条纹而对所述被检透镜的形状或质量进行检查，其中，所述干涉条纹通过从所述被检透镜和所述参考面反射或透过的光的干涉而产生，其特征在于，

构成为所述透镜保持装置被能够装卸地安装于该透镜检查装置中，同时，在将所述被检透镜配置于所述光学系统内的状态下，将该被检透镜保持于所述X轴方向和所述Y轴方向的任意位置上，从而能够进行所述被检透镜的检查。