[实用新型]硅单晶炉测温探头安装机构无效
| 申请号： | 201120118897.X | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN202054929U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘宗杰 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅单晶炉 测温 探头 安装 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，其特征在于：所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。
2.根据权利要求1所述的硅单晶炉测温探头安装机构；其特征在于：所述安装孔设置为3个，对应安装孔设置有3个固定螺钉。
3.根据权利要求2所述的硅单晶炉测温探头安装机构；其特征在于：所述安装孔处于同一圆周上，且将所处圆周分割成中心角分别为130°、130°和100°的三段圆弧。
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