[实用新型]一种高纯度三氯氧磷鼓泡罐

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种使用剧毒危险品高纯度三氯氧磷时所用的鼓泡装置。

背景技术

高纯度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前在高纯度三氯氧磷使用时主要是直接使用石英源罐通入高纯氮气，利用高纯氮气作为载气将三氯氧磷带出，其缺点是不安全、不可靠、容易泄漏而污染环境、经常爆罐造成财产损失和人员伤亡。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、抗压性好、不易破碎、无满罐风险、使用时出料连续稳定的高纯度三氯氧磷鼓泡罐。

本实用新型的目的是这样实现的：罐体用特氟龙材质制成，罐体顶部排列有插入罐体底部的氮气入口管、加料管和鼓泡出口管。

罐体顶部有插入罐体底部的温度测量管。

罐体顶部有液位观察口。

由于本实用新型采用上述结构，该装置结构简单，使用安全可靠，无泄漏、鼓泡均匀，三氯氧磷的消耗量与加入量平衡，不需更换鼓泡罐，可保证连续稳定的物料供给。罐体采用高纯特氟龙材料制作，完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度，彻底杜绝了爆罐的危险。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的结构图。

图2为本实用新型实施例2的结构图。

图3为本实用新型实施例3的结构图。

图4为本实用新型实施例4的结构图。

图中1罐体、2氮气入口管、3鼓泡出口管、4加料管、5温度测量管、6液位观察口。

具体实施方式

实施例1：罐体1用特氟龙材质制成，罐体1顶部排列有插入罐体1底部的氮气入口管2、加料管4和鼓泡出口管3。使用时打开加料管4和鼓泡出口管3，关闭氮气入口管2，待物料加到指定高度物料后停止加料，通过冷却装置将物料调节到20℃，开启现场的高纯氮气，氮气通过氮气入口管2进入罐体1中，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散装置，完成扩散。控制进料量在0.01--50ml/min，可连续稳定运行。

实施例2：罐体1用特氟龙材质制成，罐体1顶部排列有插入罐体1底部的氮气入口管2、加料管4、插入罐体1底部的温度测量管5和鼓泡出口管3。使用时打开加料管4和鼓泡出口管3，关闭氮气入口管2，待物料加到指定高度物料后停止加料，通过冷却装置将物料调节到20℃，开启现场的高纯氮气，氮气通过氮气入口管2进入罐体1中，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散装置，完成扩散。控制进料量在0.01--50ml/min，可连续稳定运行。插入罐体1底部的温度测量管6用来观察罐内的温度。

实施例3：罐体1用特氟龙材质制成，罐体1顶部排列有插入罐体1底部的氮气入口管2、加料管4、液位观察口6和鼓泡出口管3。使用时打开加料管4和鼓泡出口管3，关闭氮气入口管2，待物料加到指定高度物料后停止加料，通过冷却装置将物料调节到20℃，开启现场的高纯氮气，氮气通过氮气入口管2进入罐体1中，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散装置，完成扩散。控制进料量在0.01--50ml/min，可连续稳定运行。液位检测口6用来观察罐内物料的位置。

实施例4：罐体1用特氟龙材质制成，罐体1顶部排列有插入罐体1底部的氮气入口管2、加料管4、插入罐体1底部的温度测量管5、液位观察口6和鼓泡出口管3。使用时打开加料管4和鼓泡出口管3，关闭氮气入口管2，待物料加到指定高度物料后停止加料，通过冷却装置将物料调节到20℃，开启现场的高纯氮气，氮气通过氮气入口管2进入罐体1中，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散装置，完成扩散。控制进料量在0.01--50ml/min，可连续稳定运行。温度测量口5和液位检测口6，可观察罐内的温度和物料的位置。