[实用新型]MEMS光阀、显示装置

权利要求书

1.一种MEMS光阀，其特征在于，包括：

固定光栅，所述固定光栅具有第一透光部；

与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅具有第二透光部；

中心轴，所述可动光栅以所述中心轴为中心旋转，所述第二透光部与所述第一透光部随所述可动光栅的旋转而重叠或错开。

2.如权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，还包括：与所述可动光栅相连的感应电极；与所述感应电极相对的驱动电极，所述感应电极和所述驱动电极构成电容，其相对运动，以带动所述可动光栅旋转。

3.如权利要求2所述的MEMS光阀，其特征在于，所述感应电极的厚度为20nm～10μm；所述驱动电极的厚度为20nm～10μm。

4.如权利要求2所述的MEMS光阀，其特征在于，所述感应电极和驱动电极之间的距离为0.5μm～50μm。

5.如权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述中心轴的形状为圆柱、圆台、圆锥中的一种。

6.如权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述固定光栅、可动光栅和中心轴的中心在同一直线上。

7.如权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述第一透光部的形状为扇形，所述第二透光部的形状为扇形，所述可动光栅的形状为圆形，所述固定光栅的形状为圆形。

8.如权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述可动光栅的厚度为20nm～10μm。

9.一种包括权利要求1～8中的任一项所述MEMS光阀的显示装置。

10.如权利要求9所述的显示装置，其特征在于，还包括TFT开关，所述感应电极和驱动电极中的一种电极与TFT开关相连，另一种电极接地；或者所述感应电极与第一TFT开关电连接，所述驱动电极与第二TFT开关相连，所述第一TFT开关和第二TFT开关提供的电压不同。

11.如权利要求10所述的显示装置，其特征在于，还包括：位于基底表面的固定光栅；覆盖所述可动光栅、固定光栅、中心轴、感应电极、驱动电极和TFT开关的封盖层，所述封盖层具有开口；密封所述开口的密封盖。

12.如权利要求10所述的显示装置，其特征在于，还包括：覆盖所述可动光栅、中心轴、感应电极、驱动电极和TFT开关的封盖层，所述封盖层具有开口；密封所述开口的密封盖；所述固定光栅形成在所述密封盖表面。

13.如权利要求10所述的显示装置，其特征在于，还包括：位于固定光栅不透光区域的固定件，所述固定件与驱动电极相连，所述固定件与TFT开关相连或者接地。

14.如权利要求10所述的显示装置，其特征在于，所述中心轴与TFT开关相连或者接地。