[实用新型]单晶炉坩埚转动机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏装备中的单晶炉，具体是单晶炉坩埚转动机构。

背景技术

硅单晶炉是一种软轴提拉型单晶炉，在惰性气体氩气的保护环境中，以石墨电阻加热器，将多晶硅材料融化，用直拉法生长无位错单晶棒的设备。

在硅单晶炉设备中，设备运动的稳定性尤为重要，其不仅仅影响到单晶的生长工艺，而且影响到单晶硅棒的内在品质。

现有的单晶炉拉晶过程中，融硅液面波动、抖动，造成引径时，容易引断、细颈不均匀、质量差，成晶率低以及等径后晶体容易断棱线等系列问题；造成液面抖动的主要原因是坩埚杆机构转动不稳，该转动机构中，坩埚杆两端的轴承均为圆锥滚子轴承，轴承隙大。

发明内容

本实用新型的目的在于：针对现有技术存在的不足，提供一种单晶炉坩埚转动机构，使坩埚杆机构转动平稳。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是，一种单晶炉坩埚转动机构，包括套装在坩埚杆外部的内套筒、套装在内套筒外部的外套筒和置于外套筒外侧的轴承座，其特征是，在外套筒上端对称设有深沟球轴承。

本实用新型为一种单晶炉坩埚转动机构，可使机构对中良好，转动平稳，在拉晶过程中融硅液面波动、抖动得到明显的改善。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构图。

具体实施方式

如图1所示，包括套装在坩埚杆1外部的内套筒5、套装在内套筒5外部的外套筒4和置于外套筒4外侧的轴承座3，在外套筒4上端对称设有深沟球轴承2。