[实用新型]一种单晶炉测径仪的安装结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉测径仪的安装结构，属于单晶炉技术领域。

背景技术

目前，通常使用单晶炉制取单晶硅，单晶炉自下而上的主要部件依次有炉底板、炉体、炉盖、翻板箱、副炉等，各部件内均设有夹套层，夹套中流通有冷却水，炉盖上安装有观察窗及测径仪窗。单晶硅一般采用如下方法制造：将多晶硅装进炉体内的石英坩埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把籽晶装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接，籽晶固定于夹持器的下端，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶体长大。

现有单晶炉测径仪的安装结构，包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪，测径仪头部通过测径仪窗指向炉体内，用来测定籽晶的直径。测径仪窗上安装有滑轨，滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座，滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉，滑座上方安装有底板，底板通过底板螺钉固定在滑座上，测径仪固定在底板上，底板及滑座中部均开有大于测径仪观察头直径的透视孔。松开滑座锁紧螺钉，转动滑座调节螺钉可以使滑座沿滑轨上下移动，以调节测径仪的位置，调到合适的位置后，拧紧滑座锁紧螺钉将滑座固定，但这样的结构，测径仪相对于炉盖的倾角调节不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的问题，提供一种单晶炉测径仪的安装结构，可以方便地调整测径仪相对于炉盖的倾角。

为解决以上技术问题，本实用新型所提供的一种单晶炉测径仪的安装结构，包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪，所述测径仪窗上安装有滑轨，所述滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座，所述滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉，所述滑座上方安装有底板，所述底板通过底板螺钉固定在所述滑座上，所述测径仪通过测径仪螺栓固定在测径仪安装板上，所述测径仪安装板通过安装板调节螺钉支撑在所述底板上，所述测径仪安装板、底板及滑座中部均设有大于测径仪观察头直径的透视孔。

相对于现有技术，本实用新型取得了以下有益效果：将测径仪固定在安装板上，安装板通过安装板调节螺钉与底板连接，需要调整测径仪的倾角时，拧动安装板上下两侧的安装板调节螺钉，即可调整安装板相对于底板的角度，使测径仪相对于炉盖的倾角得到调整。测径仪安装板、底板及滑座中部均设有大于测径仪观察头直径的透视孔，以保证测径仪的观察通路上没有遮挡。

附图说明

图1为单晶炉的结构示意图。

图2为图1中A部位的放大图。

图中：1炉体；2炉盖； 3翻板箱；4副炉；5观察窗；6测径仪窗；6a滑轨；7测径仪；7a测径仪螺栓；8滑座；8a滑座调节螺钉；8b滑座锁紧螺钉；9底板；9a底板螺钉；10测径仪安装板；10a安装板调节螺钉。

具体实施方式

如图1所示，单晶炉自下而上的主要部件依次有炉体1、炉盖2、翻板箱3、副炉4等，炉盖2上安装有观察窗5及测径仪窗6。

如图2所示，本实用新型的单晶炉测径仪的安装结构，包括测径仪窗6及安装在测径仪窗6上的测径仪7，测径仪窗6上安装有滑轨6a，滑轨6a上安装有与滑轨6a相适配的滑座8，滑座8上安装有滑座调节螺钉8a及滑座锁紧螺钉8b，滑座上方安装有底板9，底板9通过底板螺钉9a固定在滑座上，测径仪通过测径仪螺栓7a固定在测径仪安装板10上，测径仪安装板10通过安装板调节螺钉10a支撑在底板9上。安装板调节螺钉10a在安装板的四个角部各设有一颗。测径仪安装板10、底板9及滑座中部均设有大于测径仪观察头直径的透视孔，以保证测径仪的观察通路上没有遮挡。

使用中，松开滑座锁紧螺钉8b，转动滑座调节螺钉8a可以使滑座沿滑轨上下移动，可以调节测径仪的位置，调到合适的位置后，拧紧滑座锁紧螺钉8b将滑座固定。需要调整测径仪的倾角时，拧动安装板上下两侧的安装板调节螺钉10a，即可调整安装板相对于底板9的角度，使测径仪相对于炉盖的倾角得到调整。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围内。