[实用新型]石墨舟电极结构有效
| 申请号: | 201120093941.6 | 申请日: | 2011-04-01 |
| 公开(公告)号: | CN202022977U | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
| 发明(设计)人: | 冯银辉 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;H01L31/18 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石墨 电极 结构 | ||
1.一种石墨舟电极结构,包括设置在石墨舟上的电极块,其特征在于,还包括电极叉,所述电极叉一端与所述电极块连接,其另一端为延伸出所述电极块外的自由端,该自由端与外部设备电极导电连接。
2.根据权利要求1所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述电极叉包括两弹簧片,两弹簧片后部插入所述电极块内并与所述电极块导电连接,中部设有圆弧形弹性区域,其前部形成Y型开口,用于与外部设备电极接触。
3.根据权利要求2所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述两弹簧片后部设有穿套石墨舟上的陶瓷杆及石墨杆的定位孔,所述两弹簧片通过所述陶瓷杆与所述电极块固定连接;并通过所述石墨杆与所述电极块导电连接。
4.根据权利要求2所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述两弹簧片在其后部的尾端焊接。
5.根据权利要求2所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述两弹簧片一体成型。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述电极叉还包括连接片;所述连接片位于所述两弹簧片之间,且位于所述两弹簧片的后部。
7.根据权利要求6所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述连接片与所述两弹簧片焊接。
8.根据权利要求7所述的石墨舟电极叉,其特征在于,所述电极叉为不锈钢或铜制成。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





