[实用新型]升降装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及设备的附属装置，特别涉及一种半导体硅片加工设备的升降装置。

背景技术

半导体硅片加工设备在进行维护时，若是逐个装拆零件会增大工作量，降低效率，所以有时需要将某些部件整体移开，比如光刻机在工作一段时间以后，掩膜台的承版台和投影物镜上部的镜片需进行擦洗清理等维修维护工作，此时为了给要进行的维修维护工作留有足够的工作空间，需要将光刻机中的照明顶部模块移开，进一步使掩膜台能够升起并横向移走，使投影物镜上部镜片全部暴露在外，为要进行的维修维护工作留有足够的工作空间。

目前，将光刻机的照明顶部模块整体移开的安装维护机构大多采用起升旋转结构，所述起升旋转结构的底部需要有足够刚度的支撑结构以及其上部需要较大的活动空间，而针对光刻机本身的机型体积大小，若给起升旋转结构的上部留有较大的旋转活动空间则间接地增大了光刻机的空间占用率；此外，起升旋转结构采用手动回转方式工作，自动化程度低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种升降装置，以解决现有技术中起升旋转结构空间占用率高、自动化程度低的问题。

本实用新型提供一种升降装置，设置于设备部件内，所述升降装置包括蜗轮、蜗杆、丝杆、支撑架、启动元件以及升降控制单元，所述启动元件与所述蜗轮连接，所述蜗杆与所述丝杆啮合，所述蜗轮与所述蜗杆啮合并设置在所述支撑架内，所述支撑架固定在所述丝杆上，所述升降控制单元与所述启动元件连接。

优选地，升降控制单元包括控制箱以及与所述控制箱连接的传感器，所述控 制箱与所述启动元件连接。

优选地，所述控制箱内包括变频器以及与变频器连接的集成电路控制板卡。

优选地，所述升降控制单元还包括手持式线控盒，所述手持式线控盒与所述控制箱连接。

优选地，所述升降装置还包括导轨和滑块，所述滑块与所述丝杆啮合并与所述设备部件固定连接，所述滑块由所述丝杆带动沿所述导轨滑动。

优选地，所述启动元件通过齿形带与所述蜗轮连接。

优选地，所述丝杆的数量为两个，所述蜗杆的两端分别与两个丝杆啮合。

优选地，所述启动元件是交流电机。

优选地，所述支撑架包括有支撑臂，所述支撑臂的数量为两个。

优选地，所述蜗轮与所述蜗杆为一体传动机构。

由于采用了以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型提供的升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，所述提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损害设备部件，整个升降过程自动化程度高。

进一步地，所述升降装置包括导轨和滑块，使滑块由丝杆带动沿导轨滑动，进而带动设备部件上下移动，能够稳定设备部件的升降。

另外，所述升降控制单元的手持式线控盒可以在操作升降装置时离开一定的距离，方便观察升降装置周围的情况。

附图说明

参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式以后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，

图1为本实用新型实施例提供的升降装置的结构示意图。

具体实施方式

下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。

本实用新型提供的升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，所述提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损害设备部件。整个升降过程自动化程度高。

图1为本实用新型实施例提供的升降装置的结构示意图。参照图1，升降装置设置于设备部件内，所述升降装置包括蜗轮11、蜗杆12、丝杆13、支撑架14、启动元件15以及升降控制单元(图中未示出)，所述启动元件15与所述蜗轮11连接，所述蜗杆12与所述丝杆13啮合，所述蜗轮11与所述蜗杆12啮合并设置在所述支撑架14内，所述支撑架14固定在所述丝杆13上，所述升降控制单元与所述启动元件15连接。