[实用新型]蒸镀机及溅镀机的对位机无效
| 申请号: | 201120092070.6 | 申请日: | 2011-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN202039122U | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
| 发明(设计)人: | 刘辛 | 申请(专利权)人: | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 蒸镀机 溅镀机 对位 | ||
技术领域:
本实用新型涉及对位机技术领域,具体涉及蒸镀机及溅镀机的对位机。
背景技术:
阴极射线管已主宰显示器及电视机市场几十年,不管是在电脑的荧幕或家庭视听娱乐器材上,依然具有竞争优势。阴极射线管一年的使用量在全世界占有大量的市场,为应视觉享受的大面精化要求及可携带性的轻便化要求,短短十年间,新的平面显示器技术陆续被开发出来,如液晶显示器,电脑显示器,场发射显示器,真空荧光显示器,发光二极体,电激发光等。而显示器的制作过程中必须以蒸镀机在显示器上蒸镀一层薄膜,而蒸镀机主要是借由被蒸镀物体加热,而利用被蒸镀物在高温时,所具有的饱和蒸镀压,来进行薄膜沉淀,然而在蒸镀的过程怀中,蒸镀物的治具对应蒸镀物的夹制会影响到薄膜像的效果,而一般如公知的图6、图7、图8所示,蒸镀机的治具组由第一,第二及第三治具41,42,43通过焊接(3)组成,且在第二及第三治具41,42上设有锁凸座420,430,再在第一,第二及第三治具41,42,43上各设有穿设孔411,421,431及锁孔412,422,432,而其中第二及第三治具42,43的穿设孔421,431及锁孔422,432及位在锁凸座420,430上,且其锁孔422,432处通过螺接件螺入而将锁凸座420,430锁定在第二及第三治具42,43上,另由锁凸座420,430的侧边设一螺孔423,433贯穿至穿设孔421,431处;该第一,第二及第三治具41,42,43的穿设孔411,421,431是对应动力缸5的第一,第二及第三轴杆51,52,53而穿设,且第一轴杆51上设有一抵制盘511,盘面上对应第一治具41的锁孔412处设有锁设孔512,借此可将第一轴杆51的抵制盘511对应第一治具41而锁固定后,再依序将第二及第三轴杆52,53对应穿设在第二及第三治具42,43锁凸座420,430的穿设孔421,431内螺孔423,433从而固定第二及第三轴杆52,53。如此以上述方式达成定位治具,具有下列的缺点:
第一,第二及第三治具对应级设在第一,第二及第三轴杆后,需对第一,第二及第三治具与第一,第二及第三轴杆间的垂直及第一,第二及第三治具的间的水平位置作检测及校正,如此很浪费时间。如水平位置的校正不确定,则会产生对位偏差,造成重复镀膜或所需镀膜未准确镀膜,而偏移至无须镀膜处。
综上所述可知,一般所公知蒸镀机的对位机,对应在使用者的需求,都有很多不理想的地方。
实用新型内容:
本实用新型的目的是提供蒸镀机及溅镀机的对位机,它通过锁定座本身与轴杆呈垂直度,使其锁定座与治具对应锁固可达到完全的水平位置,如此可避免在对位过程中因机构水平度及垂直度不同而造成对位偏差的问题。
为了解决背景技术所存在的问题,本实用新型是采用以下技术方案:它包含动力缸1、第一轴杆11、第二轴杆12、第三轴杆13、第一治具21、第二治具22、第三治具23、撑杆24、第一锁定座111、第二锁定座121、第三锁定座131、第一穿设孔211、第二穿设孔221、第三穿设孔231、第一锁孔212、第二锁孔222和第三锁孔232;动力缸1下方依次连接有第一轴杆11、第二轴杆12和第三轴杆13,第一轴杆11、第二轴杆12和第三轴杆13的末端分别设置有第一锁定座111、第二锁定座121和第三锁定座131,第一锁定座111下端设置有第一治具21,第二锁定座121和第三锁定座131上方分别设置有第二治具22和第三治具23,第一治具21、第二治具22和第三治具23通过撑杆24连接,第一治具21、第二治具22和第三治具23中心位置分别设置有第一穿设孔211、第二穿设孔221和第三穿设孔231,第一穿设孔211、第二穿设孔221和第三穿设孔231凹槽处分别设置有第一锁孔212、第二锁孔222和第三锁孔232。
所述的第一锁定座111、第二锁定座121和第三锁定座131上各设有数个第一锁定座锁孔112、第二锁定座锁孔122和第三锁定座锁孔132,且第二锁定座锁孔122和第三锁定座锁孔132分别对应第二锁定座凸伸块123和第三锁定座凸伸块133。
所述的第一穿设孔211、第二穿设孔221和第三穿设孔231的形状分别与第一锁定座111、第二锁定座121、第三锁定座131外形一致。
所述的第二穿设孔221和第三穿设孔231上设置有与第二锁定座锁孔122和第三锁定座锁孔132上的第二锁定座凸伸块123和第三锁定座凸伸块133相对应的第二穿设孔凸穿槽223和第三穿设孔233,且相邻的第二穿设孔凸穿槽223和第三穿设孔233之间分别设置有第二穿设孔锁孔222和第三穿设孔锁孔232。
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