[实用新型]集成式真空发生器

权利要求书

1.一种集成式真空发生器，包括上盖(1)和底座(2)，所述上盖(1)上依次设有进气口(11)、真空口(12)、和排气口(13)；其特征在于：

所述底座(2)上依次设有与进气口(11)连通的进气腔(21)，与真空口(12)连通的一次真空腔(22)、二次真空腔(23)、三次真空腔(24)，和与排气口(13)连通的排气腔(25)；

所述一次真空腔(22)中设有一次气管(31)，所述一次气管的吸气口(311)位于进气腔(21)内，其喷气口(312)位于一次真空腔(22)内；

所述二次真空腔(23)中设有二次气管(32)，所述二次气管的吸气口(321)位于一次真空腔(22)内，其喷气口(322)位于二次真空腔(23)内；所述各二次气管的吸气口(321)正对相应一个一次气管的喷气口(312)设置；

所述三次真空腔(24)中设有三次气管(33)，所述三次气管的吸气口(331)位于二次真空腔(23)内，其喷气口(332)位于三次真空腔(24)内；所述各三次气管的吸气口(331)正对相应一个二次气管的喷气口(322)设置；

所述排气腔(25)中设有排气管(34)，所述排气管的吸气口(341)位于三次真空腔(24)内，其喷气口(342)位于排气腔(25)中；所述各排气管的吸气口(341)正对相应一个三次气管的喷气口(332)设置。

2.根据权利要求1所述的集成式真空发生器，其特征在于：所述底座(2)与上盖(1)之间设有罩板(4)，所述罩板(4)上设有与底座进气腔(21)连通的进气孔(41)、与底座一次真空腔(22)连通的一次真空孔(42)、与底座二次真空腔(23)连通的二次真空孔(43)、与底座三次真空腔(24)连通的三次真空孔(44)、与底座排气腔(25)连通的排气孔(45)。

3.根据权利要求2所述的集成式真空发生器，其特征在于：所述罩板(4)在二次真空孔(43)和三次真空孔(44)处设有用于防止各真空腔中气体流至真空口(12)的止回件(5)。

4.根据权利要求3所述的集成式真空发生器，其特征在于：所述各止回件(5)是一个具有密封膜片(51)的弹性塞，所述密封膜片(51)位于二次真空孔(43)和三次真空孔(44)接近底座(2)的一侧端。

5.根据权利要求4所述的集成式真空发生器，其特征在于：所述罩板(4)在一次真空孔(42)处设有用于防止各真空腔中气体流至真空口(12)的止回件(5)，该止回件(5)是一个具有密封膜片(51)的弹性塞，所述密封膜片(51)位于一次真空孔(42)接近底座(2)的一侧端。

6.根据权利要求5所述的集成式真空发生器，其特征在于：所述进气口(11)、真空口(12)、和排气口(13)设置在上盖(1)的外侧端；所述上盖(1)的内侧端设有用于与进气口(11)连通的进气腔(14)、与真空口(12)连通的真空腔(15)和与排气口(13)连通的排气腔(16)；

所述上盖(1)的进气腔(14)正对底座(2)的进气腔(21)设置，所述上盖(1)的真空腔(15)正对底座(2)的一次真空腔(22)、二次真空腔(23)、和三次真空腔(24)设置，所述上盖(1)的排气腔(16)正对底座(2)的排气腔(25)设置；

所述罩板(4)上的进气孔(41)正对底座(2)的进气腔(21)设置，所述罩板(4)上的一次真空孔(42)正对底座(2)的一次真空腔(22)设置，所述罩板(4)上的二次真空孔(43)正对底座(2)的二次真空腔(23)设置，所述罩板(4)上的三次真空孔(44)正对底座(2)的三次真空腔(24)设置。

7.根据权利要求2所述的集成式真空发生器，其特征在于：所述上盖(1)上还设有与底座(2)上一次真空腔(22)、二次真空腔(23)、和三次真空腔(24)连通的节能口(17)。

8.根据权利要求7所述的集成式真空发生器，其特征在于：还包括一平衡阀(8)，所述平衡阀(8)包括设有进气口(81)、出气口(82)、平衡口(83)的阀体(84)，位于阀体(84)内的平衡阀芯(85)，和为平衡阀芯85提供复位弹力的复位弹簧(86)；所述阀体(84)的出气口(82)与上盖(1)的进气口(11)连通，所述阀体(84)的平衡口(83)与上盖(1)的节能口(17)连通；所述平衡阀芯(85)在真空吸附力作用下克服复位弹簧(86)的复位弹力移动并封堵住出气口(82)。