[实用新型]一种氯硅烷水解吸收塔

说明书

技术领域

本实用新型属于硅化工领域，涉及一种氯硅烷水解吸收塔。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态，是极为重要的优良半导体材料。多晶硅是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。

多晶硅生产过程中产生的氯硅烷残液、废气，属易燃、易爆危险介质，常采用水解加碱液中和的办法进行处理，处理过程中存在爆炸的危险；另外氯硅烷残液、废气水解时还会产生大量的二氧化硅固体物质。常见的填料洗涤塔无法满足该工艺过程的需要，不能有效避免爆炸的危险、固体物质堵塞塔器的情况。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种氯硅烷水解吸收塔。该水解吸收塔构思巧妙、设计合理，有效避免了爆炸的危险和固体物质堵塞塔器的问题。

为实现上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种氯硅烷水解吸收塔，包括塔体、进口管和尾气出口管，所述进口管设置在塔体的下部，所述尾气出口管设置在塔体的顶部，所述塔体的一端敞开，所述塔体上还设置有喷淋液进口管。

作为优选方式，所述塔体的敞开端设置在循环液地槽内。

作为优选方式，所述喷淋液进口管上设置有螺旋喷嘴。

本实用新型氯硅烷水解吸收塔下端口敞开，塔内不装任何填料，使用时可根据工艺条件将塔敞开端浸没在循环液地槽内，这样塔内出现异常超压时可从塔敞开端突出，有效避免了爆炸的危险；同时，氯硅烷水解过程中产生的固体物质也可直接从塔底部排出，不至于出现堵塞的情况；采用不锈钢螺旋喷嘴，均匀分布洗涤液，使气液充分接触，并解决了喷淋器易堵塞的问题，保证了洗涤效果。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型构思巧妙、设计合理，有效避免了爆炸的危险和固体物质堵塞塔器的问题。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图中标记：1 塔体、2进口管、3 尾气出口管、4 喷淋液进口管、5 螺旋喷嘴。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：如图1所示，一种氯硅烷水解吸收塔，包括塔体1、进口管2和尾气出口管3，所述进口管2设置在塔体1的下部，所述尾气出口管3设置在塔体1的顶部，所述塔体1的一端敞开，所述塔体1上还设置有喷淋液进口管4。

所述塔体1的敞开端设置在循环液地槽内。所述喷淋液进口管4上设置有螺旋喷嘴5。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。